標準バッチタイプスパッタリング装置(SRVシリーズ)
多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
コンパクトな筐体に3元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。
- 企業:神港精機株式会社 東京支店
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年01月07日~2026年02月03日
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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
コンパクトな筐体に3元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。
コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置 サンプルテスト&装置見学対応中
少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 8インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりMEMS・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発~量産に対応。デモ機でプロセスサポート。
FPCに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 R&D用小型機やシート対応のバッチ型装置など目的・用途に合わせて柔軟にハード&ソフトの実現
φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装置で、同基板台内±5%以内の優れた膜厚均一性を実現
複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。 サイドスパッタ方式により1mを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。 量産用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれています。 300ウェハに代表される大型基板の施策・少量生産に抵抗器やセンサーなどの小型電子部品の大量生産に、品質とスループットを両立いたします。
シンプル コンパクト 高機能 実験、基礎研究に最適 ユーザーニーズに応じた柔軟にカスタマイズ 標準型蒸着装置
基礎研究に求められる性能・コスト・技術サポートを全てカバー 個別要求に応じてカスタマイズに対応。
電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。R&D用の多目的小型研究用から実績豊富な裏面電極用量産用まで、信頼と充実のラインナップ
半導体・MEMS・各種電子部品(センサー、水晶振動子等)の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構(プラネタードーム・公転ドーム)操作・ロギングソフト 全てカスタマイズOK 社内デモ機でプロセステストも対応 幅広く柔軟なハード&サポート
UV-LED用AlNテンプレートをスパッタで。高い結晶性とC軸配向性を持つAlN膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置
UV-LEDの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのAlNテンプレートをスパッタで作成。100arc/sec以下のC軸配向性を持つAlN膜を低温(700℃以下)でスパッタリングで形成。 シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でUV-LEDの低コスト化に貢献。 サンプルテストに対応中、高周波デバイスへの展開も開発中。
20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス&ハードウェア
標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 R&D・ディスクリート・化合物・MEMS・パッケージ・実装工程・マスク・小型FPD 多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード(ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用)に加え特殊基板機構(高温加熱・磁場印加・冷却等)で幅広い用途に対応。社内デモ機によるプロセステストを基に専用装置を個別設計。
化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのアニール装置。高温処理型で急冷機構装備。透明電極膜にも対応
Siプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 GaAs用のホットプレートタイプに比べ高温(900~1000℃)まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。
緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたSiC(シリコンカーバイド)膜をPVDで形成。新型イオンプレーティング法で厚膜(7μm)形成
新開発アークフィラメント型イオンプレーティング法により従来に無かったPVD法による」SiC成膜を実現。 400℃以下の低温で緻密で耐摩耗性・耐酸化性に優れたSiC膜を形成可能とした新成膜技術を採用。 個体シリコンを出発材料としたイオンプレーティング法のためシンプルで環境負荷の少ないクリーンなプロセスを実現。 膜厚や膜質の制御性も高くCVDに比べ、排ガス処理・メンテナンス性・設置面積・ランニングコストの全てに優れた新成膜装置
神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制御性で金属焼結接合を高品質化 次世代型高信頼性燒結接合装置
パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と100%水素雰囲気による還元力によっての濡ペーストの酸化防止し濡れ性を大きく向上。 オプションの加熱加圧機構の追加でボイドレス接合も実現。 新世代接合材料もバーする神港精機の新型真空半田付装置
最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あらゆる機材に諸植生・親水性など新たな機能を実現。
マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。 各種素材(金属・ガラス・繊維)上に装飾膜(透明・干渉色)親水膜を実現。天然素材のため人体にアレルギーがなく、素材の変質・変色を防止。 食器の表面処理に実用化されており、市場の拡大が期待されています。 また赤外線の及光率にすぐれており繊維のコーティングへの開発も期待されてています。 天然素材を応用した省エネ性能と耐環境性に優れた溶岩被膜を3次元立体形状に均一にコーティング。新時代の表面処理装置。
PoEマネージドスイッチ、電源、ハウジングを一体化した、PoEカメラのためのオールインワンソリューション
『SCXシリーズ』は、IPカメラなどのPoE末端機器をビデオサーバに接続するために使用されるビデオ監視用スマートカメラボックスです。 当製品を使用して、PoE末端機器および追加の外部機器に電圧を供給可能。 標準DINレール機器に備わる従来型の接続ボックスの機能を、1つのコンパクトな機器に内蔵しています。このため計画と取付けの時間が短縮されます。 【特長】 ■オールインワンソリューションでコスト削減 ■壁面取付けおよび支柱への取付け用のアダプタで、大幅に時間を短縮 ■最小限の配線作業 ■交換可能なサージ保護 ■SNMPにより幅広いアラームメッセージ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『スマートカメラボックス』で遠隔監視カメラの接続に必要な機能をコンパクトに一体化!現在特別価格にて即納キャンペーンを実施中です。
『スマートカメラボックス SCXシリーズ』は、IPカメラなどのPoE末端機器を ビデオサーバに接続するために使用されるビデオ監視用スマートカメラボックスです。 当製品は標準DINレール機器に備わる従来型の接続ボックスの機能を、1つのコンパクトな機器に内蔵することで コストの削減や取り付け時間の大幅な短縮を実現します。 現在、2023年6月30日(金)までの「特別価格の即納キャンペーン」を実施中! 当社スマートカメラボックスシリーズの1機種を、通常よりお求めやすい特別価格で、ご注文後即納にてご提供。 遠隔監視カメラの接続に必要な機能をコンパクトに一体化した便利な本製品を、ぜひこの機会にご検討ください。 【キャンペーン概要】 ■期間:2023年6月30日(金)まで ■対象製品:スマートカメラボックス SCX 4POE 2T-1108542 ※即納は在庫限りとなりますのでお早めにご注文ください。 ※キャンペーン詳細はキャンペーンPDF資料をご参照の上、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※スマートカメラボックスシリーズの各製品、共通仕様はSCXシリーズPDF資料をご覧ください。
通信機器端末の基地局検査用!大型シールドボックス製作事例
プロテックのシールドボックス・電波暗箱の製作事例のご紹介です。 通信機器端末の基地局検査用の大型シールドボックスです。 内部には耐荷重50kgのスライドテーブルがあり、被試験物の出し入れを容易に行うことが可能です。 また、AC100V/200Vのサービスコンセントを設け、フィルタ搭載により、外部に電波が漏れることなく使用することができます。ハニカム構造の放射孔を採用することで、 電波の外部漏洩を防ぎます。 詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お問い合わせ下さい。
車載無線部品の通信検査用!大型シールドボックスの製作事例
プロテックのシールドボックス・電波暗箱の製作事例のご紹介です。 車載無線部品の通信検査用の大型シールドボックスです。 サイズは約W1350×D1120×H1840、重量は約350kg。周波数帯は400MHzで-80dB以上のシールド性能を実現しています。 大型化により実地に近い通信距離を確保することが可能です。 詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お問い合わせ下さい。
遠赤外線と熱風のジェット噴射を併用し、ワークを短時間で加熱処理可能です
用途例は印刷の硬化や水分乾燥など、特に板状及びシート状のワークに最適です。
雰囲気温度を一定に管理しながら、遠赤効果も利用できる高効率の装置です。
放射率90%以上の遠赤外線ヒーターと熱風用ファンヒーターを組み合わせました。
ウィケット導入でライン完全の自動化を目指します
プリント基板やシート状印刷物等を、専用治具に立てて搬送し乾燥することができます 印刷機からストッカーまで、ラインの完全自動化が可能となります
ガスボックス
系統図、使用ガスの流量を御指示いただければ、確かな物を安価で迅速に供給できます。 【製造事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造をおこなっております。 ※詳細は【資料請求・】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から ダウンロードしてください。
ミニチュアコネクター用の中継ボックス。JPJB。
JPJB ジャックパネル ジャンクションボックスはミニチュアコネクター用の中継ボックスです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ガス置換対応携帯真空サンプリングボックス
オールアクリル製で視認性・気密性に優れた超小型・軽量の持ち運びに便利な真空サンプリングボックスです。 バルブを標準装備し、減圧ガス置換が可能。
真空グローブボックスVG-800型
透明アクリル製で視認性抜群なグローブボックスです。 内部の減圧によって、効率よくガス置換できます。 パスボックス付で作業中の器具試料の出し入れに便利です。
無菌ボックス(耐殺菌灯仕様プレート)
ドライボックスとしても使用可能な耐殺菌灯仕様の透明アクリル無菌ボックスです。 大きな開口部で作業性抜群。鍵付きで安心。 ※付属品:グローブ1双、エアー循環装置1式、ガス充填用コック×2、殺菌灯・蛍光灯:各1本(本体1台)、内部コンセント2連式 パスボックス:(内寸)170W×190D×190Hmm 蛍光灯10W 紫外線10W ファン50/60Hz,5/4W ※ヘパカプセルはエチレンオキサイドガス滅菌が可能です。 ※規格外寸法品も承ります。お引合いください。 ※重量:約18kg
嫌気性グローブボックス(嫌気チャンバー)
透明アクリル製で視認性抜群な嫌気性グローブボックスです。 お客様の要望に応じて寸法変更や他装置の設置等オーダーメイド対応が可能です。
ガス置換用グローブボックス
視認性抜群のガス置換式グローブボックスです。 左側面が扉になっており、庫内に器材を入れやすくしています。 ※付属品::ラテックスロング手袋1双、ニードルバルブ4個、真空ゲージ1個(パスボックス) ※本体外寸法(mm):1130W×586D×650H ※本体有効内寸法(mm):689W×下辺530D/上辺240D×480H ※パスボックス有効内寸法(mm):230W×200D×200H ※重量:約40kg
低露点グローブボックス
透明アクリル製で視認性抜群な低露点グローブボックスです。 庫内を真空引きし不活性ガスで置換することにより低露点環境を作り出すことができます。 ※外寸法(mm):983W×675D×655H ※本体有効内寸法(mm):600W×240D(上辺)/400D(下辺)×450H ※パスボックス内寸法(mm):250W×200D×200H ※グローブボックス本体重量:約80kg ※真空バルブのノズル径:φ9mm
お客様のプログラムから音を再生!無線LAN接続のサウンドボックスをご紹介します
『WSD001A-J』は、タブレット、スマートフォン、PC、サーバ等から 無線LAN経由で音を鳴らす装置です。 APIを公開していますので、お客様が作成したプログラムから当製品を 制御でき、12種類の内蔵音以外に、お客様がmicroSDカードに保存した MP3やWAVファイルを再生できます。 順番待ちなど呼出音が必要なシステム、センサーやIoTデバイスと 連動させて利用など、ローカルネットワーク環境下であれば、 様々な現場で使用できます。 【特長】 ■お客様作成のプログラムから無線LAN経由で音源ファイルを再生 ■音量は0~30まで調整可 最大89dB(当社実測値) ■サウンドリピート機能を搭載 ■音の再生と同時にLEDが点滅 ■LED色や点滅回数も設定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゴミ・細菌を空気で洗浄!高速空気噴流が、「通箱」を強力にクリーニング
『洗浄型パスボックス』は、原材料や半製品などとともにクリーン ルーム内へ持ち込まれる塵埃や細菌を、高速の空気噴流により洗い 落とすクリーンな窓口です。 搬送物の大きさ・種類・通過数などお客様のニーズに応じて仕様が 決められる自由設計。 外形寸法・有効寸法はもちろん、ドア開閉の自動化、コンベアとの 連動など、お客様の工程に適したシステムを設計いたします。 【特長】 ■ゴミ・細菌を空気で洗浄 ■自由設計で自動化ニーズにも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
水分・酸素を嫌い、空気中では扱えない材料を真空中で取扱いたい方必見
グローブックス本体部分を真空引き後、ガス置換する事が出来る為短時間で高純度なガス雰囲気を創り出す事が出来ます。 当然、パスボックスも真空ガス置換することが可能です。 内部にコンセントが標準で装備されておりますので、天秤などの機器を簡単に導入できます。 サイズも卓上に置いて使えるコンパクトな仕上がりになっておりますので、大学の研究室などに最適です。 オプションのガス循環精製装置と接続する事により、酸素、水分濃度ともに、1ppm以下の環境でお使い頂く事が出来ます。