更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします
株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から 製作・組立までを一貫して承ります。 半導体装置メーカーへの納入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
全方向移動を2足歩行移動機構を用いずに、車輪で実現します。
土佐電子は、全方向移動時に生じる誤差や挙動のズレを集中コントロール するエンジンを1枚の基板におさめました。これにより、制御指示を出す 上位部に負担を掛けずにロボット内部でフィードバックをかけ 安定した移動を実現できます。 メカナムホイールは車輪の表面が車軸に対し45度傾けた樽(バレル)によって 覆われています。従来の車輪と同じ動きに加え、円周上の樽がフリーに なっているため、45度の方向に移動できます。4つのモータの回転方向と 速度制御を調整することで、全方向移動を実現します。 【特長】 ■2足歩行移動機構は用いず車輪で実現 ■全方向移動機構を支えるコアテクノロジー ■安定した移動が可能 ■集中コントロールするエンジンを1枚の基板におさめた構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【研究開発用搬送ロボット・AGV】可搬重量120kg を実現したモンスターマシンの大型搬送ロボット
メガローバーF120は、好評発売中の二輪駆動搬送ロボットである「メガローバーVer2.1」をベースに、可搬重量を約120kgと大幅に強化した大型搬送ロボットです。 十分な可搬重量と、二輪制御による安定性・取り扱いの容易性などを生かし、様々な用途での研究開発に活用できます。 メガローバーF120においては、豊富な実績を誇るメガローバーシリーズの基本構成を踏襲しつつ、本体構造やモーター出力などを大きく強化しています。 ArduinoIDE対応、ROS対応といった特徴はメガローバーVer2.1からそのまま引き継いでいるため、用途の種別を選ばない、多様な運用が可能となっています。 また、メガローバーをベースとして開発を進めたプロジェクトにおいて、搬送ロボットの可搬重量を大幅に強化したいといったリプレース目的にも好適です。 【特長】 ■可搬重量約120kgを実現 ■二輪駆動の大型搬送ロボット ■有線 / 無線接続による制御 ■ROSメッセージ通信でコントロール ■Arduino IDEでプログラム可能 ■専用の無線コントローラで簡単操作 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【AGV 自動搬送装置】テープいらずで、人間を認識して追従。２足歩行移動機構を用いずに、全方向移動を車輪で実現します。
全方向移動機構を支える確かな技術 お客様の要求仕様に合わせてカスタム対応承ります。 【コアテクノロジー】 土佐電子は、全方向移動時に生じる誤差や挙動のズレを 集中コントロールするエンジンを１枚の基板におさめました。 これにより、制御指示を出す上位部に負担を掛けずに ロボット内部でフィードバックをかけ安定した移動を実現できます。 ■全方向移動とは？ メカナムホイールは車輪の表面が車軸に対し45度傾けた樽(バレル)によって覆われています。 従来の車輪と同じ動きに加え、円周上の樽がフリーになっているため、 45度の方向に移動できます。4つのモータの回転方向と速度制御を調整することで、全方向移動を実現します。 ■導入事例 ・自動車工場、電子部品工場での搬送台車に採用 ・作業装置を載せたまま移動できるため、台車兼作業台に採用 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
タッチパネルの検査や、基板搭載部品への接着剤塗布に！電気・電子分野での用途をご紹介します
産業用ロボット『エプソンロボット』は、1981年にセイコー腕時計の組み立てロボット開発からスタートしました。 そこから生まれた数々のノウハウが、高精度、高速、高信頼性として 受け継がれ、省技術(省スペース、省電力)、先進コントローラー技術へと進化。 電気・電子分野では、HDD、腕時計本体、パーツの精密組み立て、 液晶パネルの貼り合わせなど様々な用途に活用されています。 【用途】 ■HDD、腕時計本体、パーツの精密組み立て、液晶パネルの貼り合わせ、 搬送、スマートフォンの組み立て、検査 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【研究開発用搬送ロボット・AGV】インホイールモーターを採用した静音構造、高い運動性能と大きな積載重量をもつ全方向移動ロボット
メカナムローバーVer.3.0は、研究開発用台車ロボット「メカナムローバーVer2.1」の後継機です。可搬重量約40kgの大型筐体、追加工やカスタマイズを行いやすいアルミニウム製、ソフトウェア開発を容易なものとするArduino IDE対応、柔軟で高度な制御を実現するROS1対応といった数多くの特徴をそのまま継承し、さらに、駆動輪にダイレクトドライブタイプのインホイールモーターを採用し、従来機種と比較し動作音の静音化に成功。 ◆ROS 2対応ファームウェアを公開しました！ 【特長】 ■インホイールモーターを採用した静音構造 ■可搬重量約40kgを実現した四輪メカナムホイール構造 ■有線 / 無線接続による制御が可能 ■Arduino IDEでプログラム可能 ■拡張しやすいアルミフレームを採用 ■非常停止スイッチを標準搭載 ■ROS1、ROS2による制御に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
