光計測・検査装置『ウエハレベル光素子特性測定装置』
電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム
『ウエハレベル光素子特性測定装置』は、VCSELやLEDなどの発光素子、 フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハ レベルで解析するシステムです。 当製品は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用 プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、 測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・ データ収集を行うシステムです。 また、セミオートプローバとの組み合わせにより、ウエハの自動測定に対応することも可能です。 【特長】 ■発光素子・受光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能 ■各種測定の自動化・高速化・省力化を実現 ■当社製光計測用光学系M-Scopeシリーズ各種光学系を搭載可能 ■光計測・解析ソフトウエアOptometrics Customized Versionを搭載 ■個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：シナジーオプトシステムズ株式会社
- 価格：応相談
