更新日： 集計期間:2025年07月09日～2025年08月05日
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スパッタリングは低温でもすぐれた密着が得られます。ローコスト・短納期にてスパッタリング成膜をします。
スパッタリングは乾式メッキ法に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくメッキ処理が出来ます。それにより様々な基盤材料(樹脂・ガラス・セラミック・その他)の板物・成型品に、例えば電極・シールド・マスキングとして使用されています。 【特徴】 ・異なる金属を同一ターゲットに「合金」として加工し成膜する事が可能 ・クリーンな表面処理加工 ※詳しくは、お問い合わせ下さい。
薄膜形成からパターニング及びメッキ加工まで一貫したプロセスで対応可能！
薄膜形成技術は、物理的気相法（PVD）・化学的気相法（CVD）・液相法で分ける事ができます。豊和産業株式会社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、フィルム等のベース材に行う気相成長法の抵抗加熱・ＥＢ蒸着・スパッタリング・イオンプレーティングです。 液相成長法では、電解メッキ・無電解メッキ・ゾルゲル法を用いた加工対応ができます。光学・電子部品などを製作する際に応用する技術であり、使用目的・手段に合わせて膜選択や膜設計も致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞かせください。
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 例えば、ガラス板やフィルムといった平板形状のものだけでなく、セラミック加工品や金属材等の立体形状の製品への成膜も可能です！ 装置の中で回転させながら成膜することで、ご指定の部位へ成膜が行えます。 また、保持方法等の工夫により段差部や溝・穴の内部への成膜が可能な場合もあります。 φ1ｍｍ以下の 小さなもの から、φ500ｍｍ×L500ｍｍの立体物、800ｍｍ×1000ｍｍの平板など、サイズや形状に柔軟に対応可能です。 保持（固定）が難しそうでも、当社には35年以上の豊富な経験とノウハウがありますので、まずはお気軽にご相談ください★
高精度の薄膜技術によりナノレベルの成膜を小ロットから多量産、短納期で提供。
様々な基板材料（ガラス、アクリル、ポリカ、その他）の板物から成形品、立体物に高品質での成膜加工が可能です。 機能性薄膜から装飾品、ご試作から量産まで弊社、表面処理技術をご覧下さい。
2インチから12インチウエハへの成膜が可能です。
株式会社エナテックのCZウエハ 成膜加工は、膜種により2インチから450ｍｍウエハへの成膜が可能です。 酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG、BSG、LP-CVD、PE-CVD 窒化膜系： HCD-SiN、DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN 、LP-CVD、PE-CVD 金属膜系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系）、グラフェン膜、グラファイト ＊SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。 ＊Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。 ＊レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ～12インチまで対応可能です。 ＊テストパターン付ウエハ（6インチから12インチ）も仕様により一貫で対応致します。 ＊レチクルご支給による、露光/エッチングも承ります。（8インチと12インチ） 詳しくはお問い合わせ下さい。
500社を超える実績、豊富な成膜加工ラインナップ。創業から100年、光学薄膜や微細加工技術でお客様の技術革新に貢献致します。
安達新産業は、単に成膜を実施するだけではございません。お客様のご要望の仕様に応じ、薄膜の設計から成膜プロセス・製品形状加工までトータルなご提案に対応可能な企業を目指しております。 このようなお困りごとは有りませんか？ ・光源や受光素子の性能で、特性を変化させることは可能ですか？ ・角度で特性が変化する場合、シミュレーション可能でしょうか？ ・まずは少量の試作で、製品特性を見たいです。 ・量産開始後に、効率的な提案をお願いできるでしょうか？ ・光学特性の不明なフィルターの測定をお願いできますか？ 【特長】 ■高い透過率、反射率 ■製品の安定性 ■各種基板への成膜 ■製品としてトータルにカバー ■少量試作対応可能（単品対応可能） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低温での成膜加工が可能！ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PETなど樹脂フィルムへの成膜が出来ます。
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします！ ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエチレン、PET、COPなど・・・ 樹脂フィルムのような耐熱温度の低い基材への成膜もお気軽にご相談ください！ 膜種や厚みにもよりますが、100℃以下で成膜ができます！ また、樹脂フィルムの他、樹脂成形品への成膜も可能です★
SOIウェハの受託加工は、 3インチ～12インチウェハ対応！
D＆X株式会社では、2インチ(50mm)～12インチ(300mm)への シリコンウェハの成膜加工が対応可能です。 P-CVD、LP-CVD、熱酸化膜、スパッタ、レジスト各種成膜は、 2インチ～12インチウェハ対応。SOIウェハの受託加工は、 3インチ～12インチウェハ対応。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■小ロット10枚～ ■在庫品の場合は1枚～ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
熱酸化膜やパターン加工膜、多層膜加工膜など！膜厚につきましては、都度ご相談に応じます
当社で行う、「薄膜成膜加工」をご紹介いたします。 ダスト保証品も可能な「熱酸化膜」をはじめ、「Poly膜(ノンドープ、 ドープド)」や「チッカ膜(LP・プラズマ)」、「TEOS膜」など 様々な膜に加工。膜厚につきましては、都度ご相談に応じます。 【膜種】 熱酸化膜（ダスト保証品も可能です）／Poly膜（ノンドープ、ドープド）チッカ膜（LP・プラズマ）※12″も対応可能です。 TEOS膜／BPSG膜／TI、TIN膜／CU膜／W膜／パターン加工膜／多層膜加工膜／各種IC種類 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
