SOIウェハの受託加工は、 3インチ~12インチウェハ対応!
D&X株式会社では、2インチ(50mm)~12インチ(300mm)への シリコンウェハの成膜加工が対応可能です。 P-CVD、LP-CVD、熱酸化膜、スパッタ、レジスト各種成膜は、 2インチ~12インチウェハ対応。SOIウェハの受託加工は、 3インチ~12インチウェハ対応。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■小ロット10枚~ ■在庫品の場合は1枚~ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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1,Dicing(ダイシング) tape; BG(バックグラインディング) tape; ダイシングテープ;ウェハ裏面研削用保護テープ。 2,Silicon(シリコン)wafer 半導体用ウェーハ: ポリッシュト・ウェーハ(PW)アニール・ウェーハ エピタキシャル・ウェーハ(EW)埋込層付エピタキシャル ウェーハ(JIW)SOIウェーハ 再生ウェーハ(RPW) 3,Lamp 低圧ランプ;高圧ランプ 4,UV machine; Dicer; UV照射器;テープ拡張装置;テープ貼付装置 紫外線照射装置;紫外線ドライ洗浄装置