更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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電子基板、電子部品のフラックス洗浄！ 研究開発、実験、少量生産に最適！
ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。 研究開発、実験、少量生産に最適な小型機です！ 【特長】 ○洗浄性、乾燥性 特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！ 純粋再生ユニットPINE RECを用いることで廃水も低減。 ○コンパクト ３層式とし装置幅を抑えコンパクトに設計 標準仕様にて安価に製作 ○最適な洗浄システム 各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！
医療用分野の洗浄装置製造用のクリーンルームも設置済み！半導体向け洗浄装置で培った技術力と自社一貫体制が強みです
当社は、主に産業用（半導体やセラミック）の洗浄装置・自動搬送装置・薬液供給装置の 設計・製作・販売を行っているメーカーです。 お客様のご要望に応じたオーダーメイドの装置にも対応しており、 お客様が考えた仕様に加え、ノウハウを活かしたモノづくりを行っています。 最近では医療用分野の洗浄装置のクリーンルームも新設し、よりお客様のご要望に合わせた洗浄装置のご提案も行っております。 【弊社の強み】 ■半導体向け洗浄装置で培った高い洗浄技術力 ■オーダーメイド製造で積み上げた設計力 ■設計から加工、完成まで自社での一貫体制が可能 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
洗浄は品質が決め手！各種非標準洗浄装置をオーダーメイド対応いたします！
『電解イオン水生成装置』は、水道水を洗浄液に変える電解イオン水洗浄システムです。 当社独自の特殊電気分解方式を採用した電解イオン水生成装置を搭載しており、 原水（水道水・工業用水等）を供給するだけで、自動的に電解イオン水を生成し、洗浄液として使用します。 また洗浄機の前後工程である、搬送機、圧入機、刻印装置、組立装置等も ご要望に合わせて設計から対応が可能です。 【特長】 ■各種非標準洗浄装置をオーダーメイド対応 ■薬剤・薬品は使用しない ■水道水を洗浄液に変える電解イオン水洗浄システム ■電解イオン水でクーラントをパワーアップ ■世界の3拠点にて最適生産対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シンプル設計でハイパフォーマンス洗浄！
長短２種類の毛丈と高耐久繊維を植毛した新開発の平型ブラシユニットが、大切な版面を優しく、深くブラッシング。 【エアーノズル式水切り装置 + プレート傾斜搬送方式】によるダブル機構で版上の滞留水を効果的に除去。 版の洗浄に必要な機能だけに絞るシンプル設計で、新開発機構により抜群の「洗浄力」を堅持したままコストダウンを実現。
最小1.4mのラックコンベアタイプ食器洗浄機
『CTRシリーズ』は、コンパクトなサイズながら高い洗浄パフォーマンスを誇る、コンパクトラックコンベア食器洗浄機です。 1時間に最大195ラックの処理が可能で、食数100~400名までの食器洗浄に最適です。 ランニングコストも低く抑え、衛生面でも最高の安全性と非常に高い柔軟性を確保。 後からでも追加可能なモジュールシステムで、現場の食数に合わせてカスタマイズ。最高3タンクまで拡張可能。 オプションで排気回収システム『Energy』を選択すればランニングコストをさらに削減。室内環境の悪化も効果的に抑制します。 【特長】 ■食数に合わせてカスタマイズ可能なモジュール設計 ■コーナーやエッジを無くした衛生的な設計 ■ラック感知によるゾーン別稼働でランニングコスト削減 ■搬送速度に応じたすすぎ湯量自動調整機能で経済的 ■180°横開きドアで安全 ■スマートタッチディスプレイで簡単操作 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせて、枚葉による高速処理・高洗浄力・低消費薬液が可能。
当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありません。 使用薬液は純水ですが、仕様によってはNMP等の有機溶剤も 選定可能です。 【特長】 ■高圧ジェット方式による高い洗浄力 ■2流体、1流体スプレーノズル等の方式が選択可能！ ■高圧ジェットと2流体、1流体スプレーとの組み合わせもが選択可能 ■パーティクル再付着なし ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。
■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 ◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載 ◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去 ◎スクラブブラシは、ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態で選択 ■各種オプションで多様なニーズに対応 ◎<洗剤の自動希釈><ブラシの自己超音波洗浄><CO2イオナイザー><MS洗浄> ■基板のC/C自動搬送処理装置にも対応実績豊富 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、マスク洗浄装置、ウエハ洗浄装置
※洗浄テスト実施中！全自動で簡単洗浄！トリクレンなど有機溶剤を使用しない環境に配慮した『水で洗う部品洗浄機』のノウハウを公開中！
『VORTENRYUシリーズ』は、水で洗うTriple Wash部品洗浄機です。 強力洗浄トリプルウォッシュにより「シャワー洗浄」「流水洗浄」 「浸漬・揺動洗浄」を同時に行い、優れた洗浄力を発揮する 当社独自の洗浄方法。 オペレーターの身体的負担が少ない構造となっており、視界を遮らない コンパクトな高さで、持ち運びができる適切な重さです。 【特長】 ■洗浄スピード ■特許技術の「トリプルウォッシュ」による確かな洗浄力 ■オペレーターに配慮 ■溶剤を使用しないので匂いが少ない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
機械部品の脱脂洗浄や異物除去に！水と空気のみで洗浄し環境に優しい洗浄装置
インライン型マイクロバブル洗浄装置（バブ・リモ(R)）は、精密部品や 機械加工部品の脱脂洗浄や、異物除去に用いられる洗浄装置です。 水中で生成させた微細な気泡（マイクロバブル）を利用しており、 従来の工業用洗浄に代わる、安全で環境にやさしい洗浄を実現します。 洗浄には化学合成物質を使用せず、水道水などで洗えるため、 優れたランニングコストを実現します。 【特長】 ■生産ラインにあわせて設計するタイプ ■お客様のご要望に応じたカスタマイズが可能 ■水と空気のみで洗浄し環境負荷を低減 ■化学合成物質を使用せず、低コスト ■マイクロバブルを用いた高い洗浄性能 ※詳しくはPDF資料をダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
電子基板、電子部品のフラックス洗浄で実績多数！ 狭い隙間の汚れを効率的に洗浄！
ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。 大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。 数10μｍの狭ギャップのフリップチップパッケージ、カメラモジュール 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性、乾燥性 特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！ ○高スループット 洗浄物多くを充填する事で洗浄・乾燥効率が向上し、一般的な方式の２倍の高スループットを実現します！ ○低ランニングコスト 効率的な液切りにより、洗浄剤消費量を１／３に低減！ ○最適な洗浄システム 各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！
ワークへの負荷を抑え狭い隙間の汚れを効率的に洗浄！ インライン式シャワー洗浄装置のため生産オートメーション化に貢献します！
ダイレクトフォールズ洗浄機は電子基板用のフラックス洗浄装置です。 特殊なシャワー方式により狭ギャップの洗浄を短時間に可能です。 大手電子基板メーカー様に多数採用頂いております。 フリップチップパッケージ、大型基板、等のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性 特殊なシャワー方式より狭隙間の洗浄も可能です。 20μｍの狭ギャップフリップチップを10秒で洗浄！ ○オートメーション化 インライン方式にも対応し前後プロセスのためオートメーション化に貢献します。 ○大型基板にも対応 500mmを超える大型基板にも対応！ ○高スループット インライン方式対応のため高い生産性を実現します。 ○ワークへのダメージを低減 従来のシャワー方式に比べワークへかかる負荷（応力）を著しく低減。 当社比、１／１０に低減！ ○最適な洗浄システム 各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！
量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適 ■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能 ■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り ■「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等のオプション対応が可能 ■ベベル部汚れには「高圧Jet」「DIW2流体」で対応 ■裏面コンタミフリーを基本コンセプト ◎真空チャックはコンタクト部の汚染があるため基本使いません ◎裏面リンス機能は標準搭載です。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、気軽にお問い合わせ下さい。 ※類似機種の《フォトマスク洗浄機》カタログも参照ください。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、基板クリーニング装置、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装置、スクラブ洗浄、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、搬送装置
フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
株式会社エイブルジャパン 取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ○スピンエッチャー ○フォトマスク用プロセス装置 他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
端面をローラ駆動させ川幅方向のサイズ変更も可能とした次世代型洗浄装置
『DACC-061-3L』は、4インチ（61mmx124mm）から7インチ （140mmｘ200mm）のパターン付き小判ガラス両面の各種汚れを 洗浄除去する装置です。 洗浄液は一般の洗剤やクリーナーに含まれる界面活性剤や化学合成物質 BOD/CODなどの環境汚染物質の含有量がゼロの機能水を生成する装置を搭載。 成分の99.9%が純水でありながら合成洗剤と同等、 またはそれ以上の洗浄効果を発揮します。 【特長】 ■ガラス基板にローラー痕ゼロ ■多品種生産対応可能 ■優れた洗浄力 ■機能水＋超音波洗浄 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オゾンの力で脱臭、除菌。
オゾンの力で脱臭、除菌。 食の安全性が問われる今、常に衛生的な環境が求められています。 オゾンを水に溶かし「オゾン水」として使用することにより脱臭・除菌 ・鮮度保持に優れた久賀を発揮します。 ■低ランニングコスト 使用するのは「水道水」と「電気」と「酸素」。薬品などは一切使わず、水道水から直接オゾン水を作るためランニングコストを低く抑える事が出来ます。
IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現！
高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。 ■特長 ・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 ・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・オールステンレスにより破損の危険性を排除 ・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
選べる2つの洗浄方式！炭化水素系洗浄と温水式洗浄をご用意
当社で取り扱っている「金属板自動洗浄機」について ご紹介いたします。 既存の生産ラインへの「アドオン(後付け)」が可能で、 奥行きはわずか860mmに抑えられており、限られたスペースでも 設置できます。前後のコンベアと同期させることで、 インラインでの自動洗浄を実現。 上下に配置された高密度ブラシがワークを挟み込み、 表裏同時に洗浄。スラッジやコンタミを物理的に剥離させ、 高い清浄度を実現します。 【特長】 ■高圧エアーナイフ乾燥により、 加熱不要で搬送速度を維持したまま乾燥が可能 ■完成度の高い濾過装置を搭載し、 洗浄液を濾過して循環利用 ■板厚0.5～3.2mm(標準)、 板幅300/600/900mmに対応 ■オプションの板厚調整機構により、 最大50mmまでの厚板にも対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ブラシを使わず、セイロや搬送用コンテナの洗浄を一気に能率アップ！
当製品は、複数の回転式高圧ノズルにより、汚れの隅々まで綺麗に洗浄が できる自動洗浄機です。 ブラシの代わりに高圧を使うため、ブラシ毛などの付着はしません。 直進ノズル使用により、扇形ノズルに比べ数段上の洗浄力を発揮。 高圧洗浄とブローが可能です。 その他、「高圧温水式自動部品洗浄機」もご用意しております。 【特長】 ■高圧洗浄とブローが可能 ■ベルトコンベア式(速度可変)で洗浄能率アップ ■主要部分は高級ステンレス製 ■キャスター付なので設置が簡単 ■セイロとコンテナの両方を洗浄可能 など ※別途、高圧洗浄機が必要です。(HW-2002NE)クラスの洗浄機を推奨。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
丸型・四角型フレームから金属板に至るまで、粉体付着・目詰まり防止対策が可能！防爆・温度変化の環境下でも、安定したふるいを実現！
如何なる金属形状であっても超音波振動を印加する事が可能。 丸型・四角型フレームから金属板(ホッパー等)に至るまで、粉体付着・目詰まり防止対策に。分級効率を向上させます。 粉体供給エリア外部にコンバーター・ケーブルを配置する事ができる為、防爆・温度変化・洗浄等を気にする粉体特性に於いても、安定した超音波ふるいを実現いたします。 超音波メッシュ洗浄や粉体搬送等のアプリケーションにも対応可能。 ※テスト・貸出機はご相談下さい。 ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
洗浄から搬出まで連続処理が可能。設置スペースに応じて選択できる3機種を用意。水流と泡の力で様々な食材の異物を除去
『アクアウォッシュ・マスター』および『アクアウォッシュ・マルチ』は、 コンベア搬送による連続処理と独自の洗浄方式「クリアウェーブ水流」により、 食品に付着した異物の除去と洗浄工程の効率化に貢献する食品洗浄機です。 洗浄対象に応じて上段噴射・下段噴射を選択でき、浮きやすい葉物野菜や 沈みやすい根菜類など、様々な食材を優しく洗い上げることが可能です。 循環水と水道水を併用する節水設計で、給水量の調整も可能。 両製品合わせて3機種を用意し、使用条件や設置スペースに応じて選択可能です。 【特長】 ■導入場所によって選択できるサイズ展開 ■コンベア付きで連続した洗浄が可能 ■独自の洗浄方式で、様々な食材を優しく確実に洗浄 ■洗浄する食材によって噴射位置を選択可能（浮き物：上段噴射/沈み物：下段噴射） ★導入検討中の方を対象に、お客様の商材を使用した洗浄テストも実施可能。 実際の使用状況に沿ったデモも可能ですので、お気軽にお問い合わせください。 ※製品について、詳しくはPDF資料をご覧ください。
生産ラインの条件にあわせたオーダーメイド方式！多様な洗浄目的に、スムーズに対応
当製品は、レンズ・ガラス・プラスチック・IC基板・メカトロニクス部品 などに付着する油脂、研磨材、薬品の汚れを超音波による液体徴粒子の 衝突エネルギーにより短時間で完全に洗浄する超音波洗浄装置です。 コントロールパネルの操作で、洗浄の強度・時間・温度の設定がワンタッチ。 多様な洗浄目的に、スムーズに対応します。 【特長】 ■超精密洗浄 ■全自動 ■対応多様 ■低価格 ■高性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
特殊な3層構造による強力洗浄！また、洗浄だけでなく含侵にも利用可能！
ハイブリッド洗浄機（バイブロ水洗機）は、特殊な３層構造（特許取得済）で、浴槽内の液は穏やかなまま強烈な振動と吐出吸引を行います。 その効果は、基材へ効率的に強力な洗浄（含浸）を生み出します。 また、マイクロバブルを併用すると分散した汚濁物の凝集効果や浮上分離を促進し、加えて振動がマイクロバブルを機械的に壊すためさらに洗浄効果が上がります。 ハイブリッドとは、振動と吐出吸引の両方で洗浄することを意味します。 【特長】 ■振動、吐出・吸引の合成作用で、洗浄水がワーク深部まで到達し高い洗浄効果を発揮 ■バスケットの強烈な振動は、効率的に脱気を促し含浸装置としても優れる ■バスケットおよびランナーの２層間に固定されたケーシングを設置した３層構造で、振動源と搬送体を分け、より大きなバイブレーション効果を発生させる ■水洗槽が小型なため、必要最低限の水を溜め、優れた洗浄効果で水消費量を抑制、さらに省スペースでもある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種製造工場に適した当社のお勧め洗浄機をラインアップ！
当社の温水洗浄機はどの機種も、洗浄吐水量に応じた余裕のボイラーを搭載し、 長時間洗浄を行った場合でも、温度のふらつきを抑えられる設計です。 製造・生産工場等に於いては油脂、油脂成分などを多く含む汚れ洗浄が、 労働環境、安全確保等の点で非常に大切だと考えます。 ご使用になる環境、洗浄用途によって最適な洗浄機を小型から大型、灯油式の他、 ガスや電気式と、目的にマッチした洗浄機を選定いただけるよう ご用意しております。 【ラインアップ】 ■様々な用途で広範囲に使いたい → HW-903またはHWシリーズ ■油脂洗浄が主な用途で、他にも多用途に使いたい → SHC-Z3 ■油脂洗浄が効率よく出来る小型で機動力のある洗浄機が欲しい → A-ONE ■複数の場所で様々な用途の洗浄を行いたい → 遠隔配管システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合わせ下さい。
コンパクトな設計で高機能を実現！洗浄能力が抜群な超音波洗浄機
「SDRシリーズ」は、代替フロン、フッ素系溶剤、臭素系溶剤に対応。 超音波洗浄しながら有機溶剤の蒸留再生も行える洗浄機です。 汚れたワークを強力超音波で洗浄、となりの槽で蒸気リンスを行い、 冷却ゾーンで乾燥、蒸気は冷却ゾーンで液化し水分離器経由で 超音波槽へリサイクル供給、超音波槽の液はポンプフィルターで 常に浄化する1台5役のすぐれ物です。 【特徴】 ○強力な超音波で洗浄効果は抜群 ○コンパクトな設計で高機能を実現 ○冷却装置内蔵タイプ、別置きチラー対応タイプをラインアップ ○蒸留再生機能で常に綺麗な液を補給 ○昇降装置・搬送装置などを取り付け、自動化可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省スペース！高洗浄・乾燥力！低コスト！『洗浄小町』が洗浄工程の「効率化」をお助けします！
『洗浄小町』は、製造現場を熟知した部品加工屋が、自社の生産性向上のため開発した水系・小型部品洗浄機です。 部品形状に合わせてカスタマイズする専用アタッチメントと、配置された複数ノズルにより、強力な洗浄とスピーディーな乾燥を実現！ また、人の肩幅程度のコンパクト設計により、加工機の横の狭いスペースに設置でき、製造ラインの大幅な生産性向上を可能にします。 【特長】 ■強力な洗浄力 ■二室構造、可動式ノズル採用による高い乾燥力 ■清掃・メンテナンスがらくらく ■横幅560mmで非常にコンパクト ■自働化対応（搬送装置との連携）も可能 ■対象ワーク、ラインに合わせた柔軟なカスタマイズ対応 ★「洗浄小町 オプション例」から自動化や生産性向上など様々なニーズに合わせた追加オプション例をご覧頂けます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自働化ラインへの導入時に欠かせないオプションをピックアップ！
水系・小型部品洗浄機『洗浄小町』のモデルケース「自動化向けモデル」をご紹介します。 ワークの位置決めやアジャスタによる固定など、自動化ラインへの導入の 際には欠かせないオプションをピックアップ！ コンパクトかつリーズナブルに自働化対応が可能です！ また、搬送用ロボットとのセット対応もお任せください。 【オプション内容】 1. 二段シグナルタワー（PATLITE製） 2. フィルター並列切替式 3. 差圧計（長野計器製） 4. 固定用アジャスタ&固定用アンカー 5. ワーク有無センサー 6. 位置決め機構（特許出願中） ※ミニタッチパネル付き操作BOX、ミストレーサーは標準装備です。 ※詳細およびその他のオプションはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 ・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) ・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 ・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の 取扱いも多数あり ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
洗浄、エアブローのみに限定したNC洗浄機。搬送装置を取り付ける事で自動化にも対応。
高速４分割の割出テーブルと反転治具を組み合わせることにより6面の 狙い洗浄が可能です。 割出テーブルをNCテーブルにする事により斜め穴、多面洗浄もでき ます。 回転ノズルと組み合わせることにより、止穴、交差穴内の切粉を 除去します。また、回転ノズルは独自のメタルシール構造により 最大50MPaの圧力にも対応しており、交差穴内のバリ取り洗浄に 最適です。 大流量ノズルは、高圧直噴ノズルの外周から低圧大流量の水を噴射 させる事によって起こるキャビテーションにより、洗浄効果を増大 させます。 【機械仕様】 ○KR-1 →ストローク：X軸 350（～750オプション） Y軸 350（～600オプション） Z軸 350（～600オプション） ○KR-1Jr（R-1をコンパクト化にし低価格を図ったＮＣ洗浄機） →ストローク：X軸 350 Y軸 250 Z軸 350 ○最大ノズル本数：MAX3本 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
フッ素系洗浄剤による量産化を実現した洗浄機、部品洗浄、タクト短縮、速乾、省溶剤、省電力、低環境負荷、消防法非該当
『クリンベストZERO４号機』は、ZEROシステム搭載のフッ素系洗浄剤に適した量産型洗浄装置（フッ素系洗浄機）です。 クリンベストZEROは冷凍機による深冷回収(ウルトラクール)効果により低濃度の溶剤ガス も回収できる様になり、高価なフッ素系溶剤の蒸発ロスを低減できます。 停止時に冷凍機のみの単独運転で溶剤蒸発を抑える事ができる様になり、 電力消費を抑えました。 またクリンベスト標準機に搭載している過熱蒸気（ウルトラヒート）機能も有しており 沸点以上からの自熱乾燥が可能で、乾燥の困難なワーク形状でも装置内で乾燥させます。 洗浄工程は密閉された槽内で行われ大気放出される溶剤は極めて少ない構造となっております。 ZERO３号機より省溶剤に適した洗浄槽に改良し、量産化出来る搬送機構そしてワークの出し入れ口に コンベアーを取り付ける事で複数の洗浄カゴを待機する事が可能となります。 オプションで煮詰機能が追加可能です。 【特長】 ■高洗浄力 ■速乾 ■省溶剤 ■省電力 ■低環境負荷 ■消防法非該当 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
