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低周波・中周波セパレート型や、低周波セパレート型など豊富にラインアップ
当カタログは、有限会社ハッケンが取り扱う超音波洗浄機を掲載しております。 均一洗浄とダメージ低減を両立する「WDXシリーズ」や、通信機能の搭載 で日々の管理をサポートする「WAシリーズ」など、さまざまな製品を ご紹介しております。 【掲載内容】 ■WDXシリーズ ■WAシリーズ ■WTC-404 ■WTC-408 ■WV-231S ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
センサーの先端を液中に入れるだけで確認できます！
『ソニックモニターHUS-3』は、充電式バッテリー搭載で、さまざまな 場所で使用可能な超音波モニターです。 センサを超音波洗浄機の槽内（または流水）に入れることで水槽内部に 発生する超音波強度をmVで表示。 10kHz〜5MHzの幅広い周波数に対応しています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【こんな方におすすめ】 ■超音波洗浄機の出力管理でお悩みの方 ■洗浄不良・トラブルを未然に防ぎたい方 ■中・高周波の超音波洗浄で本当に超音波が出ているか不安な方 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適
各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置 構成例：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥
本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥 用途に合わせ製作致します
環境対策・資源節約にも一役
当社では、オフィスビル・工場空調用の各種フィルター洗浄マシンを取り扱っております。 大規模オフィスビルで使用効果を発揮するコンベア式プレフィルター洗浄装置や コンベア式に比べ低価格でコンパクトな簡易型プレフィルター洗浄装置、 ろ過材等の廃材を出さないフィルターの電気集塵器洗浄装置をラインアップしております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■コンベア式プレフィルター洗浄装置 ■簡易型プレフィルター洗浄装置 ■電気集塵器洗浄装置 ※東京空気調和株式会社との共同開発となります。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンテナからの病虫・病害を防ぐ衛生管理の必需品
『KN-CWSS型』は、機構が簡単なので故障の心配がなく、安全を配慮した 安心設計のコンテナ洗浄機です。 操作は簡単。コンテナを入れてフタをするだけで、洗浄が開始し、 右回転15秒、左回転15秒間洗浄され、洗浄が終了すると自動停止します。 また、単相100V電源で使用でき、ブラシロールはワンタッチ交換が可能。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ブラシロールが正逆回転しコンテナを隅々まできれいに洗浄 ■背面の制御盤内のタイマーにより、洗浄時間の設定変更が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
御社のエアーブロー洗浄に関する技術支援を行います。
エアーブロー洗浄は、実際の生産現場では（エアー源が容易に使用可能であり）最も頻繁に行われています。 エアーブロー洗浄は、後処理がいらないという意味で、粒子状、繊維状の塵埃のみの汚れの場合は、エアーブロー洗浄（場合によっては静電除去エアーブロー）が有効でありますが、エアーによりまき散らされた塵埃の捕集方法も考慮に入れる必要があります。まき散らされた塵埃により、周囲環境を悪化させ、製品・部品に再付着させては洗浄の目的自体が達成できないということになります。 エアーブロー洗浄を有効なものとするためには、異物（塵埃）をまき散らさず、捕集する機能を持たせることが重要となりますが、そのためには、対象となる製品・部品のみが囲われた空間でエアー洗浄され、同時にそのエアーがそのまま捕集されるような機構が必要となります。重要なのはエアーの流れを作り、その流れの中に被洗浄物（製品・部品）を適正な姿勢で置き、適切に洗浄されること、また、そのままそのエアーがすべて捕集されることです。 生産現場で頻繁に行われているこのようなエアーブロー洗浄のあり方、その方向性、しくみ等に関する指導・支援が生産技術コンサルティング対象となります。
清掃業務がここまで進化！効率化と環境保護を同時に実現。清掃がスマート・スピーディに。PUDU SH1の実力をその目で確かめて。
PUDU SH1は、主に油汚れや滑りやすい環境向けに開発された商用床洗浄機です。 ・22kgの地面への圧力と350r/minの高速ダブルディスクブラシを組み合わせた、高圧で高頻度の清掃により、頑固な汚れを迅速に分解する ・強力な吸引力により、汚れや汚水を一度の吸引で完全に除去し、洗った瞬間に乾燥する ・より使いやすい操作性、より軽快な使用感。片手でもコントロール可能で、複数の場所に簡単に移動できる。 ・清掃タスクの履歴を振り返る ・水および電力の使用状況が一目でわかる https://www.youtube.com/watch?v=OQ1Lyikn-0M
3ガロン及び5ガロンリターナブルボトルの半自動洗浄をします！
当社では、宅配型のボトルウォーターとして使用された空ボトルの 洗浄ができる「半自動プレリンサ」を取り扱っております。 【特徴】 ■コンパクト設計 ■自動でボトルを洗浄します。 ■洗浄定量自動注入（別途） ■各ステーション差込み蓋付き ■タンク大型マンホール付き ■トルクリミッタ付きにて安全 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せ下さい。
薬液・DIWをかけながら洗浄！バイアル外洗機の製作事例をご紹介
当社が洗浄機・洗瓶を製作した事例をご紹介いたします。 医薬品充填後のバイアルの外面洗浄を目的としたバイアル外洗機を製作。 洗浄は薬液洗浄、DIW洗浄、水滴除去、拭き取り・乾燥の 4つの工程に分かれています。 また、スクリューによって回転しているバイアルの、肩・胴・底に ナイロンブラシを当て、薬液・DIWをかけながら洗浄します。 【事例概要】 ■設備分野：洗浄 ■機能：バイアル ■事例・装置名：バイアル外洗機 ■業界分野：製薬 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スクリーン版／メタルマスク版を壊さない 臭いを漏らさない 環境と人に優しい挟み込み部分洗浄方式のACTシリーズ
１．スクリーン版／メタルマスク版の性能維持 版の金属枠とマスクの接着部分に洗浄液がかからないため、 テンションが緩む事象および接着部分剥がれを回避。 ２．臭いの漏えい防止 部分洗浄方式により、洗浄～乾燥の全ての工程で洗浄液の臭いを遮断。 ３．高い洗浄能力 洗浄ムラの無いようなノズル配列のスプレー洗浄方式の採用。 ４．作業者の健康への配慮および環境への配慮 人体に無害で大気を汚染しない洗浄液でも、 高い洗浄能力、短時間での乾燥を実現。 ５．高い安全性 引火点のない安全な洗浄液でも確実に洗浄・乾燥ができる構造。 ６．保守性 シンプルな構造で専門の保守要員を必要とせず、 消耗品交換程度で長期間安定稼働。 7．洗浄から乾燥までの自動運転
精密洗浄、バリ取り、鋳砂取りが1台で可能です
『Scara-Jet』は、ノズル噴射確認システムを標準装備した高圧洗浄機です。 スピードフレックスノズルで、早送り中に噴射方向を切換可能。 高効率、省スペースで、電子圧力調整システムも装備しております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■本体型式：S4010V ■高圧ポンプ：50MPa x 16L/min ■ストローク(mm)：X＝600、Y＝600(だ円)、Z＝500 ■早送り速度：(Z)48m/min、(R1、R2)80m/min ■主軸回転速度：500min-1 ■ノズル仕様：スピードフレックスノズル1本 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
VR・3Dモデルを活用した高品質な設計！新設備導入時のあるあるを解決
当社の高圧洗浄機『MOVAC』は、新設備導入時に発生する課題を解決いたします。 新設備導入時には、"思ったより大きかった"や"メンテナンスできなかった" などの問題が発生することが想定されますが、当製品はVR立会いのご提案が 可能な為、そういった課題を解決することが可能です。 また、「i-movac」においては、単純な構造で壊れにくく修理が容易で、 1％の性能向上よりも扱いやすさを目指しております。 そのほか、高品質で多彩なノズルや安定の品質を保証する 噴射確認システムなど、様々な特長がある製品です。 【課題解決概要】 ■新設備導入時の課題 ・思ったより大きかった ・メンテできなかった 等 ■MOVACの解決方法：VR立会いのご提案が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向け湿式化学装置】
この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセスの柔軟性と高いスループットを達成できます。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを行うことで、化学物質や脱イオン水の消費を最大90%節減することができます。 【特長】 ■最大400wphのスループット ■2つの洗浄プロセスチャンバー ■ばらつきが1％未満の均一性 ■設置面積12m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■EPD-End Point Detection ※詳細はカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
キャンバスの汚れをブレードで掻き取ることで生産性を向上！製造コストも削減
『AOKIクローナー』は、独自の特殊ブレードをキャンバスに押し当てる ことにより効率よく満足な洗浄ができるブレード式キャンバス洗浄装置です。 特殊ブレードによる強力な洗浄力で、キャンバス幅の全面に対してムラなく 洗浄することができ、薬品洗浄をしないので低コストで運用可能。 また、ブレードの寿命は約6ヵ月から1年で連続で使用可能。キャンバスの 丸抜き洗浄は不要になり、粕取り作業も約80％の削減できます。 【特長】 ■特殊ブレードによる強力な洗浄力 ■キャンバス幅の全面に対してムラなく洗浄 ■薬品洗浄をしないので低コストで運用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
湿式スクラバーや、乾式スクラバーなど！FRP製スクラバーのご紹介
当カタログでは、一体型FRP製で円型にすることで、風の衝撃をやわらげ 耐荷重性にも優れた排ガス洗浄装置を掲載しております。 さまざまな排ガス処理に高性能で対応できる充填式の「湿式スクラバー GSシリーズ」や、実験過程において排出される酸性・アルカリ性ガスの 中和処理用に開発された「移動型 湿式スクラバー」などをラインアップ。 そのほか、主にドラフトチャンバー内で発生する有毒ガスを、ドラフト チャンバー本体と一体化したかたちで処理が可能な「乾式スクラバー HFシリーズ」もご紹介しております。 【掲載製品】 ■湿式スクラバー：GS/HSシリーズ ■移動型 湿式スクラバー HSS ■乾式スクラバー：HF/GFシリーズ ■移動型 乾式スクラバー：HFFシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ユーザーの要望や用途を的確に判断！好適なディスペンサー・プランジャーポンプを提供
当社では、「各種ポンプ デモ機貸出サービス」を行っております。 高粘度の実液を使用してポンプ精度を確認したいというユーザーの声にお応え。 各種ディスペンサー、プランジャーポンプおよび一軸ねじ式ポンプが 貸出対象となります。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ユーザーの要望や用途を的確に判断 ■各種ディスペンサー、プランジャーポンプおよび一軸ねじ式ポンプが対象 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
部品洗浄の「品質」と「コスト」にお悩みではありませんか？高温洗浄と温風乾燥をワンステップで完了！無料トライを実施中！
□無料トライ実施中！ 「実際に試してみたい」という方は、サンプル品をお送りください！ そんなに（数Ｋ万の）高価な洗浄機をご検討する前にお試しください！ 洗浄、脱脂、脱水、乾燥を目的とした部品洗浄機です。 【約45℃～50℃の水溶性洗浄液にて洗浄】 1.洗浄カゴ内へ洗浄液を投入して内容物を浸します。 2.満水をキープしながらグルグルと正逆に低速で回転させて、液の流れで洗浄します。 3.洗浄液投入を止めて、高速回転させて脱水させます。 4.脱水中、そのまま温風（約60～150℃）を吹きかけて、乾燥させます。 ◆内容物への完全な洗浄液の浸漬により、均一に洗浄処理できます。 ◆遠心分離による脱水工程のため、完了後の「表面のシミ」を軽減します。 ◆温風により完全乾燥が可能です。 ◆パンチカゴを使用するので量産小物部品への取り回しが、容易です（冷間鍛造品、バネ類など）。 ◆タッチパネルの採用により、異常履歴の確認メンテナンス作業が等メンテナンスがより簡単です。 ◆自動起動ボタン1つですべての工程が完了致します（設定後）。 ◆洗浄液循環式のためランニングコストが軽減されます。
脱油・防錆の2工程を1台で！保守が簡単で、コンパクト設計！遠心分離式のオイル洗浄機（部品洗浄機）です。
『TBP-12-SJO』は、遠心分離する前に石油系溶剤に製品を浸し、 油の粘度を下げた状態で遠心分離を行うオイル洗浄機です。 浸漬と遠心分離を繰り返すことにより製品に付着した切粉なども 取り除くことが可能。 また、当製品は浸漬塗布後、遠心分離により最小限の防錆油の 塗布で処理できます。 【特長】 ■ワンタッチ操作で防錆油付が一工程で可能 ■繰返し回数は数量カウンターにより1～9回まで選択可能 ■防錆油の塗布量の多少は遠心分離機の回転数設定で操作可能 ■作業者の中腰姿勢など、ムリな作業を追放できるため仕事がスムーズ ■保守が簡単でコンパクトな設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
溶剤フリーの過熱水蒸気洗浄でコストカット、環境にも配慮する！
『スチームパワークリーナー』は、油分除去も蒸気で実現し、 少水量で洗浄を可能にする、過熱水蒸気式洗浄装置です。 過熱水蒸気はノズルで局所的に拭きつけるため、限定箇所への 局所洗浄や、洗浄工程の1個流し化も可能。 当社では、蒸気量・温度・圧力・ノズル形状などを設計することが できるため、お客さまの実現したいこと、製品材料や油分付着状況に 合わせてご提案します。 【導入効果】 ■溶剤購入費のコストカット、使用水量も低減 ■防爆対応が要らないため設備をコンパクト化 ■溶剤フリーによる消防法管理不要で負担軽減 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
SNDの超音波洗浄機
超音波洗浄機の開発・製造・販売: 工業用から医療、外食、家庭用まで幅広い分野に対応する超音波洗浄機を開発、設計、製造、販売しています。特に、独自の開発を続け、低コストと高性能を両立した様々なタイプ（大型、中型、小型、特殊仕様）の超音波洗浄機を提供しています。 医療機器・美容健康機器の開発・設計・製造・販売: 超音波分野の技術を応用し、医療機器や美容用ミスト器、赤外線治療器などの健康・美容機器のOEM/ODM開発も手掛けています。医療機器製造業、第2種医療機器製造販売業の許可も取得し、医療機器レベルでの品質管理を行っています。 その他のOEM/ODM対応: お客様の要望に応じた様々な製品の企画・設計・生産からメンテナンスまで一貫したサービスを提供しています。 発想力、創造力、そして技術力で夢を現実にするような画期的な製品を開発しており、「健康」と「環境」をキーワードにした多種多様な製品を提供しています。 また詳細につきましては、企業HPもご覧ください。 https://senjyou.jp/
バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能
『ファインソニック』は、均一な音圧を実現できる洗浄ユニットです。 1W刻みの安定した出力調整が可能。各種ウエハー基板洗浄や 各種フォトマスク、磁気ディスクなどに適しております。 また、最大出力アップで洗浄エリアの拡大に貢献します。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■均一な音圧を実現 ■多彩な周波数を選択可能[750kHz/(1000kHz)/(1500kHz)/2000kHz] ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能 ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大 ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定(PT-150MV) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
品質と省エネを高い次元で両立。少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに
「カセットレス洗浄装置」は、ロボット搬送がスムーズでチッピングが 生じない、大幅なランニングコストの低減が可能な製品です。 ファインソニック(高周波発振器/振動子)を使用。ダメージを 与えることなくパーティクルの除去が可能です。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用し、洗浄におけるカセットの 問題点をすべて解決します。 【特長】 ■カセット接触部の洗浄ムラも解消 ■少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに ■消費電力を大幅にカット ■槽間移動時の薬液量を少量化 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
バッチ洗浄とブラシ洗浄の組み合わせでハイクオリティな洗浄を実現
当社では、メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮する 「ディスク洗浄装置」を取り扱っております。 カセットレス方式の採用で洗浄能力の向上と省エネルギー化を実現。 バッチ洗浄部は当社のバリエーション豊富な超音波洗浄ユニットから 用途に合わせて選択でき、適切な周波数でダメージを与えずに パーティクルを除去できます。 【特長】 ■カセットレス方式の採用によりバッチ洗浄とブラシ洗浄が一つの装置で可能 ■ブラシ洗浄部はサンドスクラブ方式のため両面同時洗浄が可能 ■バッチ洗浄ユニットとブラシ洗浄ユニットの組み合わせは自在 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現
「精密洗浄装置」は、さまざまな精密部品・製品の洗浄工程で幅広く 導入されている信頼性の高いシステムです。 タッチパネルなどの採用により、操作性・安全性・メンテナンス性がさらに向上。 またシステムの随所にハイグレードなパーツを使用して完成度を高めています。 洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現します。 【用途】 ■CD/LDマスターディスク ■プラスチックレンズ・光学レンズ ■メモリーディスク・アルミ/ガラス ■液晶TFT/CF ■ケース/カセット ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【オーセンテック株式会社】板金工場のボトルネック工程を自動化しませんか？
累計1200台以上の納入実績を誇るバリ取り機・洗浄機のAUDEBUシリーズに、ワーク回収ロボットを組み込むことで、板金工場におけるボトルネック工程の自動化・お客様の生産性向上を支援します。 バリ取り・洗浄後のワーク回収・仕分けはロボットにお任せ！ 「AUDEBU1002 Robot」 AUDEBUシリーズのバリ取り機・洗浄機にワークを投入するだけ！ バリ取り・洗浄後のワーク回収・仕分け・積載はロボットにおまかせ!！ ・作業者がバリ取り機の入口⇔出口を移動する必要が無く「連続バリ取り作業」が可能 ・プレス装置等との連動によりバリ取り機の無人運転が可能 ・カメラによる製品形状・位置・角度の自動認識とコンベア速度に合わせたロボットワームの自動追従により、ワークを自動回収し、種類を仕分け、向きを揃えて集積 誰でも、瞬時に、ブランクワークを識別！ 「AUDEBU Scan」 レーザ加工後のブランクワークの仕分け作業の効率改善やミスの削減にお悩みございませんか？ブランクワーク識別装置「AUDEBU Scan」なら、図面が読めない作業者でも簡単に、瞬時に、ワークを仕分けすることができます！
産業用洗浄機、油圧バルブ、電磁弁、遊星歯車減速機の開発・製造・販売。ステンレス・アルミの板金加工
産業用洗浄機、各種油圧機器、減速機のメーカー。環境に配慮した水系洗浄機をはじめとして、さまざまな機械設備、部品を開発し、提供。自動車、建設機械、産業機械など、あらゆる業界との取引を通じて、社会に貢献します。
水も洗浄剤も使わずドライアイスを吹き付け洗浄！選ばれたクリーニング性能
『IB 7/40』は、汚水を出せない現場でも、水や洗浄剤・溶剤を 使わずに洗浄が可能な、業務用ドライアイスブラスターです。 使用中にブラストガンで風量やドライアイス量を調整可能。 ドライアイスの節約ができ、万が一詰まりが発生しても、 エアーのみ吐出して解消しやすくなります。 また、ドライアイス吐出量30-120(kg/h)、ドライアイスタンク 容量40(kg)の「IB 15/120」もご用意しております。 【特長】 ■水を使わず高い洗浄力を発揮 ■リモコン操作で効率アップ ■ドライアイスの廃棄も簡単 ■トラブルを未然に防止 ■安心の長期保証 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
薬液や純水の使用量を大幅に削減！フットプリントを大幅に縮小
当社で取り扱っている「多槽式ウェハ洗浄装置」について ご紹介いたします。 キャリアレスタイプは、6インチ、8インチ、12インチウェハに対応。 キャリアレス搬送により成膜前洗浄などの高清浄度な洗浄に対応し、 1バッチの搬送枚数として50枚、25枚、13枚をラインアップしております。 カセットまたはFOUPに対応したローダー、アンローダーを備え、 酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の 各プロセスによる装置構成が可能。乾燥はIPA乾燥、 温水引き上げ・IR乾燥、マランゴニ乾燥から選択できます。 【特長(キャリアタイプ)】 ■ワークサイズは、2インチから12インチウェハに対応 ■1バッチの搬送カセット数は1カセットまたは2カセットから選択 ■酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の 各プロセスによる装置構成が可能 ■乾燥はスピンドライヤ、IPA乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーのカセット数はご要望に応じて対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ディスクブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の洗浄装置をご紹介！
当社で取り扱っている「薬液スクラブ洗浄装置」について ご紹介いたします。 ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、角基板(最大600mm□まで対応)に 対応しており、サイズ変更による段取り替えは不要です。 ワーク材質は、Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、セラミック、 水晶、樹脂、ガラス等。 ブラシ摩耗に応じて0.1mm単位で押圧力を制御する自動補正機能を 備え、スクラブ洗浄前にブラシを毎回自動洗浄。 本体両側面に薬液供給タンクおよび廃液タンク内蔵が可能です。 【処理構成】 ■スクラブ洗浄：PVAブラシによる表面スクラブ洗浄(洗剤・純水洗浄) ■スピン洗浄：二流体洗浄、SPM/DHF/SC-1薬液洗浄(選択) ■リンス洗浄：MSシャワー、O3洗浄(オプション) ■裏面洗浄：純水洗浄 ■乾燥：N2ブロー乾燥 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
