半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】
高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。
- 企業:アイエムティー株式会社
- 価格:応相談
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高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。
【日本製】精密研磨テープ使用
ベベル研磨、オリフラ研磨に特化した省スペース、ローコストタイプのテープ式精密研磨装置です。
電子材料などの微細試料に最適
薄いPETベースで厚みが均一です 研磨ダレの無い精密仕上げに最適です 電子材料、複合素材のファイナルラッピング用です
高精度な試料片作りに最適!ベストな研磨条件が分かり、工程削減・精度向上につなげられる技術書をプレゼント中!!
当社では、試料自動研磨機『KIRIME』をはじめ、様々な研磨機をご提供しています。 試料の研磨を、最適な研磨条件にすることで、工程削減&精度向上を実現。 工程削減では、従来の作業時間が半分になったという事例もあります。 また、研磨精度の向上により、より良好な検査結果が得られています。 今回は、お客様に好評の【試料研磨レシピ選定目安技術書】を特別にプレゼントさせて頂きます。 <IMTの研磨機が選ばれる理由> ■製品はすべて国産機。メンテナンスなどのアフターフォローも即日対応 ■東京・名古屋・大阪各所に各種デモ機があり、デモンストレーションが可能 ■半導体・液晶・電子機器・機械業界への生産機の実績から、 お客様のご要望に沿ってカスタマイズ(特殊冶具)対応・提案が可能 ■最適な研磨条件のご提案も可能 ※今なら【技術書 試料研磨レシピ選定目安表】も無料プレゼント中、 「ダウンロード」からご覧いただけます。
強力トルクも安心の日本製手研磨機。3種類の後付けアタッチメントで自動化も可能!
『IM-P2』は手研磨専用の卓上研磨装置です。 円板交換が簡単で、手研磨しやすいテーブル高さとなっております。 高回転・低速域でも強いトルクを発揮するモーターを搭載しています。 研磨機の要の、モーター/インバータも安心の日本製 後付けで自動回転機に変身も可能! 3種類の自動化アタッチメントを貴社ご希望に合わせてご提案致します。 気になる方は[SP-L1]/[SP-As]/[M-05]のページをご確認ください。 【特長】 ○手研磨しやすい研磨テーブル高さ ○低速・高速域でも強いトルクを発揮(50~400rpm無段変速) ○円板交換が簡単 ○防滴リングは標準装備 安全仕様によってサイズ/形状を特注製作も可能(有償) ○錆びにくい樹脂カバー ○消耗部品の給水コックや排水ホースも簡単交換可能設計 ○消耗品の置台[ストレージ]も装着可能 ※Φ300mm円板も使用できる手動研磨機【IM-P3】もございます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
安全なWスタートボタン機能を搭載!全体荷重方式のパワフルな卓上型研磨機
『Rana-30』は、安全なWスタートボタン機能を搭載したパワフルな自動研磨機です。 研磨部に750Wサーボモーター、試料回転部に120Wブラシレスモーターを採用し、高いトルクとディスク最大回転数400rpm、最大加圧力400Nを実現しております。 16個の研磨条件のメモリー機能、ABC設定(研磨中の運転を3段階で設定可能)など効率的に作業を行っていただけます。 【特長】 ○全体荷重方式のパワフルな卓上型研磨機 ○最大φ310mm研磨円板の装着が可能 ○安全に配慮、Wスタートボタン機能を搭載 ○試料に合わせて選べるオプショナルパーツ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
試料研磨界の二刀流!オートチェンジレシピが作れる自動研磨機
『KIRIME』は、1台で全体荷重/個別荷重、2つの研磨スタイルの自動研磨機です。 メモリー条件から最大6個を選び合わせて、オートチェンジレシピが作れます。 大きなボタンのタッチパネルで簡単操作。 研磨剤オートドリップ装置との通信・接続が可能です。 【特長】 ○選べる2つの研磨スタイル →研磨力の高い全体荷重方式 →個別荷量方式:個別荷重用の加圧脚 ○研磨ディスク冷却機能付き ○研磨剤オートドリップで自動化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
3個の試料毎に研削値設定が可能!時間モードで自動研磨も可能な試料研磨機
『Q-roy』は、3個の試料それぞれに、Z軸(高さ)方向の研削値設定ができる試料研磨機です。 1μm単位で研削値の設定ができ、研削値に達すると自動停止します。 時間モードで自動研磨も可能です。 大きなボタンのタッチパネル、便利なアナログボタン付属で操作も簡単です。 【特長】 ○3個の試料毎に研削値設定が可能 ○時間管理による研磨が可能 ○研磨剤オートドリップで自動化 ○研削値誤差の補正が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
設計の自由度が高いPLC制御を採用!高いスループットを実現する研磨機
『Cyrex』は、砥石1ステージ+研磨、琢磨4ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○生産性が大幅にアップ ○6連式大型研磨機 ○大量の試料ホルダーのストックが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ハイスペック】個別荷重専用研磨装置
『Rana-5(ラーニャ5)』は、自動給水機能を標準付属している個別荷重式自動研磨機 「Rana-3」と研磨部、試料回転部がそれぞれ共通仕様 ですが、LMガイドでヘッド機構はがっちり!研磨中の横ブレもしにくく剛性が高い 防水式は、タッチパネル、非常停止ボタン付きで、デジタル式はタイマーに よる自動停止が可能。 16個の研磨条件を記憶でき、研磨中に2ステップの運転設定が行えます。 【仕様】 ■電源:単相100V/単相220V ■寸法/重量:W450×D640(背面まで)×H520mm(ヘッド上昇時610mm)/94kg ■給水・排水:自動給水機能標準付属 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全体荷重・個別荷重の研磨が可能!用途に合わせ交換可能な各種研磨ディスクをご用意
『KIRIME 250』は、1台で2つの研磨スタイルができる自動研磨機です。 Φ250mmの円板で、研磨円板(押えリング付)、琢磨円板、マグネティック・ サーフェス円板の各種研磨ディスクをラインアップし、用途に合わせ交換可能。 回転数は、ディスクが50~500rpm、ホルダーが50~200rpm(逆転可能)と なっています。 【円板ラインアップ】 ■研磨円板(押えリング付) ■琢磨円板 ■マグネティック・サーフェス円板 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
固定砥粒による微細研磨に使用いただけるダイヤモンドラッピングフィルムをご紹介
当社で取り扱っている『NEO』をご紹介致します。 当製品は、固定砥粒による微細研磨に使用できる ダイヤモンドラッピングフィルムです。 粒度は、0.5μm・2μm・9μmをご用意しております。 詳細については、関連カタログをご覧ください。 【サイズ】 ■203 ■229 ■154 ■305 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨条件の2段階可変が可能!研磨ヘッドは、左右に±50mmで位置調整ができます!
『Cyrex-8』は、1工程の研磨中に2種類の変化をさせることができる 全自動研磨機です。 研磨開始直後の数秒間(例:15sec)から、徐々に圧力を上げ、終了までの 数秒間(例:10sec)まで、徐々に圧力を減圧させていく等の設定も可能。 レベル出し機+試料ホルダー等、試料に合わせた孔形状のホルダー製作も 承りますので、お気軽にご相談ください。 【研磨部 仕様】 ■ホルダーサイズ:MAX.φ200mm ■円板サイズ:φ250,300,310mm ■一次側エアー:0.5MPa以上の空気源が必要 ■電源:三相200-220V 50/60Hz ■寸法/重量:W830×D855×H1730mm/約450kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
あらゆる精密研磨技術のノウハウを活かし研磨機、研磨装置、試料研磨機を中心にご提案して参ります。
【概要】 ・専任の研磨担当が在籍 ・蓄積された研磨経験データより満足される研磨面を提供 ・社内にて設計から制作まで行っているので、ジグの提案 ・研磨工程がわかるように、詳細な研磨レポートを提供 【デモの流れ】 1,事前打ち合わせ 2,試料お預かり 3,条件出し 4,デモ(来社・オンライン)