化合物半導体ウェーハ研磨装置 小型ウェーハ用テープ式研磨装置
【日本製】精密研磨テープ使用
ベベル研磨、オリフラ研磨に特化した省スペース、ローコストタイプのテープ式精密研磨装置です。
- 企業:アイエムティー株式会社
- 価格:応相談
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【日本製】精密研磨テープ使用
ベベル研磨、オリフラ研磨に特化した省スペース、ローコストタイプのテープ式精密研磨装置です。
強力トルクも安心の日本製手研磨機。3種類の後付けアタッチメントで自動化も可能!
『IM-P2』は手研磨専用の卓上研磨装置です。 円板交換が簡単で、手研磨しやすいテーブル高さとなっております。 高回転・低速域でも強いトルクを発揮するモーターを搭載しています。 研磨機の要の、モーター/インバータも安心の日本製 後付けで自動回転機に変身も可能! 3種類の自動化アタッチメントを貴社ご希望に合わせてご提案致します。 気になる方は[SP-L1]/[SP-As]/[M-05]のページをご確認ください。 【特長】 ○手研磨しやすい研磨テーブル高さ ○低速・高速域でも強いトルクを発揮(50~400rpm無段変速) ○円板交換が簡単 ○防滴リングは標準装備 安全仕様によってサイズ/形状を特注製作も可能(有償) ○錆びにくい樹脂カバー ○消耗部品の給水コックや排水ホースも簡単交換可能設計 ○消耗品の置台[ストレージ]も装着可能 ※Φ300mm円板も使用できる手動研磨機【IM-P3】もございます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
安全なWスタートボタン機能を搭載!全体荷重方式のパワフルな卓上型研磨機
『Rana-30』は、安全なWスタートボタン機能を搭載したパワフルな自動研磨機です。 研磨部に750Wサーボモーター、試料回転部に120Wブラシレスモーターを採用し、高いトルクとディスク最大回転数400rpm、最大加圧力400Nを実現しております。 16個の研磨条件のメモリー機能、ABC設定(研磨中の運転を3段階で設定可能)など効率的に作業を行っていただけます。 【特長】 ○全体荷重方式のパワフルな卓上型研磨機 ○最大φ310mm研磨円板の装着が可能 ○安全に配慮、Wスタートボタン機能を搭載 ○試料に合わせて選べるオプショナルパーツ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
試料研磨界の二刀流!オートチェンジレシピが作れる自動研磨機
『KIRIME』は、1台で全体荷重/個別荷重、2つの研磨スタイルの自動研磨機です。 メモリー条件から最大6個を選び合わせて、オートチェンジレシピが作れます。 大きなボタンのタッチパネルで簡単操作。 研磨剤オートドリップ装置との通信・接続が可能です。 【特長】 ○選べる2つの研磨スタイル →研磨力の高い全体荷重方式 →個別荷量方式:個別荷重用の加圧脚 ○研磨ディスク冷却機能付き ○研磨剤オートドリップで自動化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
3個の試料毎に研削値設定が可能!時間モードで自動研磨も可能な試料研磨機
『Q-roy』は、3個の試料それぞれに、Z軸(高さ)方向の研削値設定ができる試料研磨機です。 1μm単位で研削値の設定ができ、研削値に達すると自動停止します。 時間モードで自動研磨も可能です。 大きなボタンのタッチパネル、便利なアナログボタン付属で操作も簡単です。 【特長】 ○3個の試料毎に研削値設定が可能 ○時間管理による研磨が可能 ○研磨剤オートドリップで自動化 ○研削値誤差の補正が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
設計の自由度が高いPLC制御を採用!高いスループットを実現する研磨機
『Cyrex』は、砥石1ステージ+研磨、琢磨4ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○生産性が大幅にアップ ○6連式大型研磨機 ○大量の試料ホルダーのストックが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ハイスペック】個別荷重専用研磨装置
『Rana-5(ラーニャ5)』は、自動給水機能を標準付属している個別荷重式自動研磨機 「Rana-3」と研磨部、試料回転部がそれぞれ共通仕様 ですが、LMガイドでヘッド機構はがっちり!研磨中の横ブレもしにくく剛性が高い 防水式は、タッチパネル、非常停止ボタン付きで、デジタル式はタイマーに よる自動停止が可能。 16個の研磨条件を記憶でき、研磨中に2ステップの運転設定が行えます。 【仕様】 ■電源:単相100V/単相220V ■寸法/重量:W450×D640(背面まで)×H520mm(ヘッド上昇時610mm)/94kg ■給水・排水:自動給水機能標準付属 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全体荷重・個別荷重の研磨が可能!用途に合わせ交換可能な各種研磨ディスクをご用意
『KIRIME 250』は、1台で2つの研磨スタイルができる自動研磨機です。 Φ250mmの円板で、研磨円板(押えリング付)、琢磨円板、マグネティック・ サーフェス円板の各種研磨ディスクをラインアップし、用途に合わせ交換可能。 回転数は、ディスクが50~500rpm、ホルダーが50~200rpm(逆転可能)と なっています。 【円板ラインアップ】 ■研磨円板(押えリング付) ■琢磨円板 ■マグネティック・サーフェス円板 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨条件の2段階可変が可能!研磨ヘッドは、左右に±50mmで位置調整ができます!
『Cyrex-8』は、1工程の研磨中に2種類の変化をさせることができる 全自動研磨機です。 研磨開始直後の数秒間(例:15sec)から、徐々に圧力を上げ、終了までの 数秒間(例:10sec)まで、徐々に圧力を減圧させていく等の設定も可能。 レベル出し機+試料ホルダー等、試料に合わせた孔形状のホルダー製作も 承りますので、お気軽にご相談ください。 【研磨部 仕様】 ■ホルダーサイズ:MAX.φ200mm ■円板サイズ:φ250,300,310mm ■一次側エアー:0.5MPa以上の空気源が必要 ■電源:三相200-220V 50/60Hz ■寸法/重量:W830×D855×H1730mm/約450kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度な試料片作りに最適!最適な研磨条件もご提案!安心の国産機でアフターフォローも万全!
『KIRIME』は1台で全体荷重/個別荷重、2つの研磨スタイルが選べる試料自動研磨機です。 メモリー条件から最大6個を選び合わせて、オートチェンジレシピが作れます。品質の向上や新素材の開発に必要な、高精度な試料片作りに最適です。 【特長】 ■選べる2つの研磨スタイル ・全体荷重方式→研磨力の高い全体荷重方式。 ・個別荷重方式→最大6個の試料を装着可能。 ■研磨ディスク冷却機能付きです ■研磨剤オートドリップ装置との通信・接続が可能です ■東京・名古屋・大阪各所に各種デモ機が有りデモンストレーションが可能 製品はすべて国産機・メンテナンスなどのアフターフォローも即日対応致します。 また半導体・液晶・電子機器・機械業界の実績から、お客様のご要望に沿ってカスタマイズ(特殊冶具)対応・提案が可能 最適な研磨条件ご提案もさせて頂きます。 ※商品詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 【技術書】試料研磨レシピ選定目安表も無料プレゼント中、下記からダウンロード下さい。
高トルク!低価格!可愛いロゴ!2連なのに3刀流研磨機
『Eo2』は手研磨専用の2ディスク装置です。 手研磨しやすいテーブル高さで、快適に作業を行ってていただけます。 高回転・低速域でも強いトルクを発揮するモーターを搭載しています。 2個の給水コックと、背面には排水ホースが付属しています。 【円板サイズ】 ○研磨円板:Φ223mmまたはΦ200mm ○AL琢磨円板:Φ200mm ○マグネティックサーフェス円板:Φ200mm 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
個別荷重方式を採用!平行度を失わずに研削が可能な試料研磨機です。
『Rana-3』は個別荷重方式を採用しており、1~6個の試料を自由にセットできる試料研磨機です。 ホルダー回転数の変更が可能なため、ホルダーとディスクを同じ回転数で研磨することができ研磨面が傾斜したり、ペンシル状になりません。 ホルダー・ディスク共に、正転・逆回転が可能です。 【特長】 ○平行度を失わずに研削が可能 ○設定秒数まで加圧力自動上昇・減少可能 ○研磨条件(圧力/回転速度)の3段階可変が可能 ○16個の研磨条件をメモリー可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
砥石回転速度は800~1700rpm!砥石の自動ドレッシング機能を備えた研磨機をご紹介
当社で取り扱う、研磨砥石による面出し研磨機『Cyrex-G』について ご紹介いたします。 高速回転物から身体を守ってくれる安全カバー付で、ホルダー回転数は 60~200rpm。また循環冷却水槽には50Lタンクを採用しています。 アイエムティーは、小規模ながら一貫した“ものづくり”システムで 細やかにスピード感をもってお客様のご要望にお応えいたします。 【仕様(一部)】 ■電源:三相200-220V 50/60Hz ■エアー:0.5MPa以上の空気源が必要 ■ホルダー回転数:60~200rpm ■最大試料ホルダー径:φ200mm ■砥石回転速度:800~1700rpm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
刮目せよ 「Cyber」と「T-Rex」の融合 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現
『Cyrex』は、砥石1ステージ+研磨、琢磨ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○各工程にヘッドが搭載で生産性が大幅にアップ 〇ホルダストックもコンベア式or積み上げ式で選択可能 ○3~6連式にて選択可能な大型研磨機 ○大量の試料ホルダーのストックが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。