CMP装置×テクノライズ株式会社 - 企業1社の製品一覧

φ300対応CMP装置 　TCRM900

φ300ウェハに対応したマニュアル式のCMP装置です。MEMS・TSV・薄加工を行うのに最適です。

シリコンウエハーの膜加工（CMP）や薄板加工を行うのに最適です。 膜種はLow-K膜用対応装置や導電体用装置、絶縁膜用装置があります。 ウエハー材料の薄板加工は別オプション装置により、30μm・50μmまで薄くしたWaferを単体で剥離する事も可能です。

• 企業：テクノライズ株式会社
• 価格：応相談

• 鋳造機械