自動CMP装置
COF(摩擦係数)やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターできます。
【Tribo】 ・400mm径のポリッシングプレートに対応 ・100mm/4インチのポリッシングヘッド x2軸 ・スラリーポンプ2台、酸性スラリーにも対応 ・業界標準のIn-Situダイヤモンドコンディショニング対応 ・装置に内蔵されたタッチパネルPCでコントロール 【Orbis】 ・600mm径のポリッシングプレートに対応 ・200mm/8インチのポリッシングヘッド x2軸 ・スラリーポンプ2台、酸性スラリーにも対応 ※2種類のスラリーを搭載 ・業界標準のIn-Situダイヤモンドコンディショニング対応 ・装置に内蔵されたタッチパネルPCでコントロール
- 企業：ハイソル株式会社
- 価格：応相談
