EFEM（Equipment Front End Module）
EFEM（Equipment Front End Module）
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
EFEM(foup) - メーカー・企業と製品の一覧
EFEMの製品一覧
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SSY-10010 EFEM
EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能 リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮 ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR) お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応） お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
