EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能 リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮 ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR) お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応） お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能
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基本情報
搬送物150mmガラスウェーハ 処理枚数140枚/h (装置側の処理時間は含みません) 動作範囲ワーク中心距離旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸)反転軸 672mm335度500mm180度 搬送速度 (平均速度)アーム旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸) 550mm/sec300度/sec300mm/sec 搬送速度 (最大速度)アーム旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸) 900mm/sec400度/sec450mm/sec 反転ユニットなし 吸着搬送時アーム旋回角度 (θ軸)上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec540度/sec500mm/sec 繰り返し精度±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式吸着による保持 クリーン度ISO Class2(ISO14644) フットプリント640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量約350kg ユーティリティ電源：単相 AC200V 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。