EFEM（Equipment Front End Module）
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）
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基本情報
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）
価格情報
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納期
用途／実績例
300mmウエハ対応装置用FOUP開閉及び搬送モジュール シングルインターフェース対応 RS232Cマルチポート SEMI S2、S8準拠 特別仕様等ご相談に対応させて頂きます。
企業情報
当社は、主に、 1. 新規装置（プラズマ処理装置、ウエハ搬送機（ソーター）、検査装置等）販売・サービス 2. 中古半導体製造装置の販売・サービス 3. 顧客ニーズによる装置等の開発・製作・相談 を行う商社になります。 また、半導体業界に限らず、国内外の企業とのネットワークを活かし、お客様の多様なニーズに関する御相談を承っております。