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専用吸引ポートによりパーティクルは大幅に軽減！静的許容モーメントは約30％UP
『SC23/30/45』は、クリーンクラス3対応の低発塵クリーンアクチュエータです。 スライダブロックの摺動部は低摩耗素材の部材によりパーティクルを抑制。 また、センタシートは低発塵素材のステンレスシートを採用しています。 従来品と同じ外観寸法を維持したコンパクト設計となっているほか、 静的許容モーメントは約30％UPしています。 【特長】 ■スライダブロックの摺動部は低摩耗素材の部材によりパーティクルを抑制 ■センタシートは低発塵素材のステンレスシートを採用 ■専用吸引ポートによりパーティクルは大幅に軽減 ■従来品と同じ外観寸法を維持したコンパクト設計 ■クリーンクラス3対応 ■クリーン度を大幅UP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現
『ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な 性能を有する直動のアクチュエータです。 高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が 大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。 その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置 決めにミリオンガイドが採用されています。 【特長】 ■超高精度とコンパクトの両立を実現 ■超小型15角サイズ ■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン ■高精度な幅広ローラの採用 ■剛性を保ちながら低予圧化に成功 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
ご要望の高い5つのカスタムをセミオーダー化！トータルコストダウンも可能
『SKR/KR』は、LMガイド、ボールねじ、サポートユニットを一体化した コンパクト・高剛性構造のアクチュエータです。 高精度位置決めに適切なアクチュエータに5つのカスタムをセミオーダー化。 ご注文後最短10日で出荷いたします。 U字形断面形状アウタレール（ベース）により、モーメントやねじりに対する 剛性が高く高精度。ボールリテーナによりボール同士の相互摩擦がなく、 グリースの保持力も向上するため、長寿命・長期メンテナンスフリーが実現します。 【5つのカスタム】 ■ノック穴 ■位置決め用金属ボルト ■サブテーブル側面給脂穴 ■表面処理 AP-C処理 ■クリーン環境用 AFFグリース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
装置の省スペース化・高精度な動きが可能！高推力のシリンダタイプPCを短納期化
『PC』は、コンパクトで高精度・高剛性を実現したサーボプレス用の電動 アクチュエータです。 ボールスプラインは、ころがり案内のスプライン軸受で、軸に設けられた 溝をボールが転がることで大きな許容荷重が得られ、直線運動を行いながら トルク伝達もできる製品です。 精密ボールねじは、ねじ軸とナット間でボールが転がり運動をするため高い 効率が得られ、高精度な位置決めができる製品です。 【特長】 ■コンパクトで高精度・高剛性を実現 ■装置の省スペース化・高精度な動きが可能な高推力のシリンダタイプ ■ご注文後最短10日から出荷 ■ボールスプラインは、ころがり案内のスプライン軸受 ■精密ボールねじは、高精度な位置決めができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
複雑な精度調整が不要！スライドブロックを配置することでコンパクトな形状が可能！
『1軸アクチュエータ』は、スライドリニアガイドとボールねじを一体化した コンパクトな製品です。 当製品は“BG”“BH”シリーズをご用意。サポートユニット内蔵で、 複雑な精度調整が不要です。組立工程の大幅な削減ができます。 U字形状のリニアガイドレールを採用して、その内側にリニアガイドブロックと ボールねじナットの機能を併せ持つスライドブロックを配置することで コンパクトな形状を可能にしました。 【特長】 ■調整不要 ■省スペース ■高精度 ■高剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
