オンアクチュエータ×テックトレーディング株式会社 - 企業1社の製品一覧

ミリオンアクチュエータ超小型15角サイズ

アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現

『ミリオンアクチュエータ超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な性能を有する直動のアクチュエータです。高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置決めにミリオンガイドが採用されています。【特長】 ■超高精度とコンパクトの両立を実現 ■超小型15角サイズ ■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン ■高精度な幅広ローラの採用 ■剛性を保ちながら低予圧化に成功 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。