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アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現
『ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な 性能を有する直動のアクチュエータです。 高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が 大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。 その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置 決めにミリオンガイドが採用されています。 【特長】 ■超高精度とコンパクトの両立を実現 ■超小型15角サイズ ■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン ■高精度な幅広ローラの採用 ■剛性を保ちながら低予圧化に成功 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
位置決め精度±1.0㎛以下を実現する高精度アクチュエータ
半導体製造業界では、製造プロセスにおける高精度な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や組み立て工程においては、サブミクロン単位での正確な位置決めが求められます。位置決めの誤差は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。ミリオンアクチュエータは、1㎛の剛性、送り精度、直進性を実現し、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めを可能にします。 【活用シーン】 ■半導体製造装置用ステージ 【導入の効果】 ■高精度な位置決めによる歩留まり向上 ■製品品質の安定化
位置決め精度±1.0㎛以下を実現。航空宇宙検査の精度向上に貢献。
航空宇宙業界の検査工程では、部品の微細な欠陥や寸法の正確な測定が求められます。特に、航空機の安全性に関わる重要な部品においては、高い精度での検査が不可欠です。検査精度の低下は、製品の品質問題や安全性のリスクにつながる可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、航空宇宙検査における高精度な位置決めを実現し、検査の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・航空機部品の寸法測定 ・宇宙関連機器の精密検査 ・検査装置への組み込み 【導入の効果】 ・検査精度の向上 ・検査時間の短縮 ・不良品の検出率向上
位置決め精度±1.0㎛以下！医療機器の精密操作をサポート
医療機器業界では、診断精度や治療効果を高めるために、微細な操作が求められます。特に、手術支援ロボットや顕微鏡などの精密機器においては、正確な位置決めと微小な動きが、安全かつ効果的な医療行為に不可欠です。不正確な操作は、患者へのリスクを高める可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、医療機器の精密操作を支援します。 【活用シーン】 ・手術支援ロボット ・顕微鏡 ・精密検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる診断・治療精度の向上 ・安全性の向上 ・操作性の向上
位置決め精度±1.0㎛以下！光学機器の微細調整に最適
光学機器業界では、レンズやミラーの微細な位置調整が製品の性能を左右します。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかなズレが画質や測定精度に影響を与える可能性があります。ミリオンアクチュエータは、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めを実現し、光学機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ・アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ・カメラのフォーカス、位置調整 ・顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる製品性能の向上 ・サブミクロン単位での微細調整の実現 ・光学機器の品質向上と歩留まり改善
