位置決め精度±1.0㎛以下を実現する高精度アクチュエータ
半導体製造業界では、製造プロセスにおける高精度な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や組み立て工程においては、サブミクロン単位での正確な位置決めが求められます。位置決めの誤差は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。ミリオンアクチュエータは、1㎛の剛性、送り精度、直進性を実現し、サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めを可能にします。 【活用シーン】 ■半導体製造装置用ステージ 【導入の効果】 ■高精度な位置決めによる歩留まり向上 ■製品品質の安定化
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基本情報
【特長】 ・繰り返し位置決め精度X・Y・Z全方向±1.0㎛以下 ・1㎛の剛性、送り精度、直進性 ・ニードルローラ採用の『ミリオンガイド』搭載 ・省スペース設計（最小15角） ・各種カスタム対応可能 【当社の強み】 アイセルグループは、1968年の創業以来、産業設備の製造・販売に携わっています。
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企業情報
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。
