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ミリオンアクチュエータに超小型15角サイズがラインアップ! ミリオンガイドを搭載しているため、超高精度・高剛性を実現！
多くのご要望に応えてミリオンアクチュエータに超小型15角サイズが新登場！ 超小型15角サイズながら高い精度とコンパクト化を両立した直動アクチュエータです。 【特徴】 ■ 超小型で省スペース！ ■ ミリオンガイドを搭載しているため、超高精度・高剛性を実現！ ■ ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン！ ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか、お気軽にお問合せ下さい。
アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現
『ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な 性能を有する直動のアクチュエータです。 高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が 大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。 その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置 決めにミリオンガイドが採用されています。 【特長】 ■超高精度とコンパクトの両立を実現 ■超小型15角サイズ ■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン ■高精度な幅広ローラの採用 ■剛性を保ちながら低予圧化に成功 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
