卓上大気圧 アッシャー装置 SS-50
ハンディタイプで扱いが容易。ハンディータイプであるため凹凸面への処理も可能。超軽量。
・ハンディタイプで扱いが容易 ・コントロールボックスは卓上タイプの省スペース ・使用するガスによって 親水化 ・空気でプラズマ生成 ・ハンディータイプであるため凹凸面への処理も可能 ・AC100Vのコンセントで動作 ・超軽量(コントロールボックス4kgの仕様あり)
- 企業：株式会社魁半導体
- 価格：応相談
アッシャー装置 - メーカー・企業と製品の一覧
アッシャー装置の製品一覧
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バッチ式プラズマアッシング装置 ウエハアッシャー装置
50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。
- 企業：ヤマトマテリアル株式会社
- 価格：応相談
