50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。
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基本情報
・低価格・省スペースを実現 （4インチウエハ、5インチウエハはオプション対応） ・低ダメージでアッシング及び表面改質が可能 ・多様なプロセスに使用可能な50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。
価格情報
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納期
用途／実績例
シリコンウエハ、サファイア基板等のフォトレジスト膜の灰化除去及び表面の浸水化処理。
企業情報
半導体評価用のICソケットの開発で半導体メーカーから高い評価を頂いてきました。現在では、カーエレクトロニクス・イメージセンサー・半導体メーカー様の多様なニーズに柔軟かつ迅速に対応し、開発・試作・評価・生産・出荷に必要な資材を一括提案。新製品の開発にも果敢に挑み、秒刻みで変化するエレクトロニクス業界を支援しています。また、2006年10月1日より、ヤマト硝子は、より大きな可能性を目指して発展する企業「ヤマトマテリアル株式会社」へ社名変更し、適確な企業ブランドイメージの浸透とともに、更なる事業展開を目指します。