同軸バレル型プラズマ装置
半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。
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基本情報
型式YSP1000B 同軸バレル型 電極構造：円筒・石英チャンバー 高周波出力(Max)：1KW 発振周波数：13.56MHz水晶発振器 チャンバー寸法（内寸）：Φ300×500mm チャンバー材質：石英 反応ガス2系統 空ポンプドライポンプ（約500L/分） ガス導入口反応ガス2個、パージ1個、エアー1個
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング ・等方性エッチング ・濡れ性改善 表面改質など 石英チャンバーサイズφ３００×Ｌ５００ｍｍ。 半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。
企業情報
半導体評価用のICソケットの開発で半導体メーカーから高い評価を頂いてきました。現在では、カーエレクトロニクス・イメージセンサー・半導体メーカー様の多様なニーズに柔軟かつ迅速に対応し、開発・試作・評価・生産・出荷に必要な資材を一括提案。新製品の開発にも果敢に挑み、秒刻みで変化するエレクトロニクス業界を支援しています。また、2006年10月1日より、ヤマト硝子は、より大きな可能性を目指して発展する企業「ヤマトマテリアル株式会社」へ社名変更し、適確な企業ブランドイメージの浸透とともに、更なる事業展開を目指します。
