FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能１μｍ
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる 計測時間：１μｍ分解能 約３５秒 5μｍ分解能 約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。 レーザ走査イメージャの特徴 ・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない) ・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス ・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載) ・概略仕様 走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒 レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり) ・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です
- 企業：株式会社ワイ・ドライブ
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
