SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます
超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。 ◆コストダウンに貢献 ・長期のリサイクル使用が可能 ・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている ・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる 【特徴】 ・高純度（純度はppmレベル） ・高耐酸化性（長期間酸化雰囲気で使用可能） ・高耐食性（Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能） ・低拡散係数（表面汚染のSiC内部拡散は困難） ・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献 ※詳しくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
