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リスクアセスメントおよびリスク評価プロセスのための安全ガイドラインをご紹介
『SEMI S10』の目的は一貫した実践的な方法で危険源の同定、 リスクの見積り、リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの 一般原則を確立することにあります。 また、「SEMI S10」を使用することにより、リスクの度合いを決定し、 そのリスクを制御するための方策を開発するための手助けとなります。 【リスクアセスメントの一例】 ■ウェハ搬送機メーカーにおいてリスクアセスメントを実施 ■ウェハ搬送機内に置いて、ロボットによる押しつぶしの危険源を同定、 リスクランク2Cと見積もった ■リスク低減策としてSEMI S2を参照し、ドアインターロック機能を追加 ■リスクランク“none”として終了 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置安全ラベル（警告ラベル）の内容およびフォーマットに対するガイダンスを提供
『SEMI S1』は、装置安全ラベル（警告ラベル）の内容および フォーマットに対するガイダンスを提供し、使用する記号の例を与えます。 警告ラベルは「特定の危険源」に関する情報を伝達することが一般的です。 【警告ラベルが伝達すべき事項】 ■危険源の重大さ ・DANGER, WARNING, CAUTION, およびNOTICEの4つのシグナルワードで分類 ・分類方法はSEMI S10リスクアセスメントも有効 ■危険源の種類 ・感電や挟まれ等の危険源の種類 ・シンボルや文字、または両方で表す ■危険源の結果 ・感電の場合、火傷や死亡が考えられ、これらを明記する ■危険源を回避する方法 ・感電対策で一番有効なものは電源OFFのためこのような文言を明記する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMI S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を実施！
「SEMI S6」は、排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドラインです。 「SEMI S2」には化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や 毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は、「SEMI S6」の評価が 必要になる場合があります。 毒性の気体が発生する可能性がある場合、通常時・メンテナンス時・ 単一故障時を想定して、排気換気により人体暴露が起きていないかを 模擬試験で確認します。 可燃性の気体が発生する可能性がある場合、電装品回りに気体が 滞留しないかを模擬試験で確認します。 QSESでは、S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を 行っております。 【特長】 ■排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドライン ■可燃性や毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は SEMI S6の評価が必要になる場合がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全インタロックなど、環境・健康・安全に関するガイドラインを一部ご紹介
『SEMI S2』には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び 安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられています。 その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、 排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。 「安全インタロックが作動すると装置または装置の関係部分を自動的に 安全な状態にするべき。(11.3)」 ⇒ 例）オペレーション中にドアを開けると装置が通電状態でなくなる。 また、ドアを閉じないと通電状態とならない 「安全インタロックシステムは耐欠陥性があり、(以下略)(11.5)」 ⇒ 耐欠陥性とは合理的に予見可能な単一故障の結果、安全側にはたらくことである。 以上はSEMI S2のほんの一例です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関する指針を一部ご紹介
『SEMI S8』は、SEMI S2の16項の人間工学に関する要求に加え、 さらに詳しい人間工学に関する指針を示しています。 その一例をご紹介いたします。 「セクション8」では、ディスプレイ位置を規定しています。 操作員の立位でのタッチスクリーンを除く、床からスクリーンの 中心線までの高さ規定は以下になります。（8.1.1） ■最大：1470mm（58インチ） ■最小：1320mm（52インチ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン
『SEMI S14』は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクを アセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。 資産の保護に適用し、人間の保護には適用しません。 「SEMI S10」リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントは 「SEMI S14」に譲っています。一方、リスクの見積りの手法は、SEMI S10の 方法を用いることが推奨されています。 大前提として、火災の3要素として燃料、酸化剤、発火源をあげています。 これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。 燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で 考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
