安全インタロックなど、環境・健康・安全に関するガイドラインを一部ご紹介
『SEMI S2』には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び 安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられています。 その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、 排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。 「安全インタロックが作動すると装置または装置の関係部分を自動的に 安全な状態にするべき。(11.3)」 ⇒ 例）オペレーション中にドアを開けると装置が通電状態でなくなる。 また、ドアを閉じないと通電状態とならない 「安全インタロックシステムは耐欠陥性があり、(以下略)(11.5)」 ⇒ 耐欠陥性とは合理的に予見可能な単一故障の結果、安全側にはたらくことである。 以上はSEMI S2のほんの一例です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
1992年、当社は原子力プラントの安全管理・品質管理に従事していたエンジニア達によって、工業機械の安全性および品質検査を行う会社として設立されました。翌1993年にはSEMIガイドライン適合評価のビジネスに着手しています。 その後、SEMIビジネスの経験とエンジニアリング・セミコンダクタ―フィールドで培ったノウハウを基にして １、第三者機関としての安全評価業務(SEMI S2/S8、CEマーキング等) ２、製品ドキュメントの作成・翻訳 ３、警告ラベルの作成・販売 といった半導体製造装置の安全性に関わるトータルサポートを行っています。 当社は設計の段階から製品の安全性を試験・評価し、安全性に対するお客様の多様な要望に『One Stop』でお答えします。その試験項目は機械・電気・EMC(電磁両立性)・F47/F42評価試験・ケミカル(トレーサーガステスト等)・圧力・環境と多様な範囲に及びます。 また製品から排除できない危険エネルギーに対しては、警告ラベルとドキュメンテーションでフォローアップいたします 安全審査・警告ラベルから製品マニュアルを含めた一貫したサービスをご提供しています