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低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計
ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■低・中真空領域の測定に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源（フィラメント）を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています
『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力領域をこの1台で測定
『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた コンビネーションゲージ ■超高真空から大気圧 ■高精度、低真空領域において優れた再現性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献
『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 （当社比） ・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小限に抑えました
キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現 ■優れた対振動ノイズ性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種真空システム搭載に好適な真空計
■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
