バタフライコントロールシステム Series 61.2
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
1~2 件を表示 / 全 2 件
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX2接続用)