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腐食性雰囲気の高温ウェハプロセスなどでグラファイトを保護するメタルカーバイドコーティング技術！部材の寿命の延長効果を発揮
『メタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【特長】 ■均一な被膜による高い寸法精度 ■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性 ■導電性 ■優れた耐摩耗性 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【特長】 ■均一な被膜による高い寸法精度 ■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性 ■導電性 ■優れた耐摩耗性 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。
グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保護します。 ４）優れた被覆性を有しています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い電気絶縁特性と耐熱特性（耐熱絶縁）を持ったコーティングです。フェライトコア、PCボード等の絶縁に最適です！
【電気絶縁コーティングの特徴】 当社の電気絶縁コーティングは高い電気絶縁特性と耐熱特性（耐熱絶縁）を共に持っており、薄膜でもコンフォーマルコーティングによって小さな部品や隙間等にも欠陥無くコーティングできるためフェライトコア、PCボード等の絶縁に最適です。 ●貴社に合わせたコーティング方法をご提案致します。 ●詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
