SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【特長】 ■均一な被膜による高い寸法精度 ■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性 ■導電性 ■優れた耐摩耗性 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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企業情報
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社は、高熱伝導ヒートシンク、ヒータ/静電チャック、セラミックス製品、耐腐食/耐熱コーティングの開発、製造、販売を行っています。また、石英製品やシリコーン製品なども多数取り扱っております。ご用命の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。
