ロードロック式FCVA装置
良好な膜厚分布が得られます！カスタマイズ可能なロードロック式コーティング装置
当社で取り扱っている『ロードロック式FCVA装置』をご紹介します。 ロードロック方式により、膜質の安定性を向上し、パーティクルの 付着を抑制します。 ガラスレンズモールドの離型膜形成用の装置として、主要レンズメーカー 各社で使用されています。 基板回転機構により、良好な膜厚分布が得られます。 「FCVAカーボンソース」、「FCVAメタルソース」、「イオンビーム」 「スパッタ」などの要素技術を1つの装置に組み合わせることが可能です。 【特長】 ■ロードロック方式 ■膜質の安定性を向上しパーティクルの付着を抑制する ■基板回転機構により良好な膜厚分布が得られる ■カスタマイズ可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
- 価格：応相談
