良好な膜厚分布が得られます！カスタマイズ可能なロードロック式コーティング装置
当社で取り扱っている『ロードロック式FCVA装置』をご紹介します。 ロードロック方式により、膜質の安定性を向上し、パーティクルの 付着を抑制します。 ガラスレンズモールドの離型膜形成用の装置として、主要レンズメーカー 各社で使用されています。 基板回転機構により、良好な膜厚分布が得られます。 「FCVAカーボンソース」、「FCVAメタルソース」、「イオンビーム」 「スパッタ」などの要素技術を1つの装置に組み合わせることが可能です。 【特長】 ■ロードロック方式 ■膜質の安定性を向上しパーティクルの付着を抑制する ■基板回転機構により良好な膜厚分布が得られる ■カスタマイズ可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。