半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！ フォトレジストや機能材料の研究開発向け薄膜コーティング装置
『IS型シリーズ』は小型・軽量でラボテーブル上に設置できる薄膜コーティング装置です。 凹凸デバイスの段差面やエッジ部の形状に対応した薄膜コーティングを提供します。 立体（３Ⅾ）サブストレートのコーティングに最適条件の標準化が可能です。 また、特殊アトマイジング方式により、最適な微小粒子をコーティングします。 【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率（対比：スピンコートでは数%） ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊間欠と筆安定塗布が可能（分散液・FC触媒液他） エーシングテクノロジーズでは機能薄膜コーティングのソリューションをご提案しています。 周辺技術のコンサルタントと研究支援を承っております。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
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基本情報
【特長】 ・高額なプロセス装置なしで研究開発を進められる。 ・お客様の研究開発スピードの効率アップ ・無駄な開発投資を省くことができる。 ・長年の弊社データベースにより難しい条件出しが容易に設定可能。 ・開発や新プロセスの問題点をコンサルティングします。 ・必要に応じ、必要な装置のご提案をいたします。 ・特殊機能膜の塗布加工サービス（薄膜形成試作）をご提案 ・薄膜プロセスの総合的研究開発の受託も可能 ・特殊機能膜をコーティング液から調合し薄膜を形成することも可能 ●詳しくはお問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○フォトレジストコーティング（凹凸デバイス） ○撥水膜コーティング ○燃料電池用MEAコーティング ○導電性材料コーティング ○アルコキシド（ガラス膜）膜コーティング ○絶縁材料コーティング ○空気抵抗最小限膜コーティング ○超耐熱膜コーティング ○親水膜コーティング ○LED膜コーティング ○蛍光体コーティング ○ナノカーボン材料コーティング ○太陽電池用各種膜コーティング その他
企業情報
コーティング技術と特殊テクノロジーで未来に貢献します。技術革新に主眼を置き、現在、つくば産業技術総合研究所様、横浜国立大学様、山梨大学様、信州大学様、神奈川産業技術センター様と技術連携をしております。企業の特殊コーティング試作、プロセス開発、コンサルタントをはじめ、数々の研究＆開発テーマで活動をしております。提案内容は、新規機能、研究開発時間の短縮、品質、機能アップ、開発コストの削減を目的としています。周辺技術と共にソリューションでご提案しご好評を頂いています。研究テーマ・開発テーマ・検討テーマがございましたら、ご連絡をお待ち申し上げております。
