ビューポートシャッター『VPSシリーズ』
許容ベーキング温度は200℃！蒸着物から守ることができるビューポートシャッター
『VPSシリーズ』は、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から 守ることができるシャッターです。 シャッター方式はフラッパーで、許容ベーキング温度は200℃。 質量が0.8kgの「VPS-070」をはじめ、1.8kgの「VPS-114」や「VPS-152」 などをラインアップしております。 【特長】 ■高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から守る ■シャッター方式：フラッパー ■使用圧力範囲：大気圧～10^-8Pa ■許容ベーキング温度：オートメタル 200℃ ■リーク量：2×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大和機器工業株式会社
- 価格：応相談
