許容ベーキング温度は200℃！蒸着物から守ることができるビューポートシャッター
『VPSシリーズ』は、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から 守ることができるシャッターです。 シャッター方式はフラッパーで、許容ベーキング温度は200℃。 質量が0.8kgの「VPS-070」をはじめ、1.8kgの「VPS-114」や「VPS-152」 などをラインアップしております。 【特長】 ■高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から守る ■シャッター方式：フラッパー ■使用圧力範囲：大気圧～10^-8Pa ■許容ベーキング温度：オートメタル 200℃ ■リーク量：2×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■VPS-070 ■VPS-114 ■VPS-152 ■VPS-203 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
大和機器工業株式会社は、超高真空機器・研究用総合機器などの設計・ 製作をしております。 現在、科学の発展により高度な真空技術が要求されています。 食品、医療品などのものから、超電導、宇宙開発までの先端分野まで、 生産、開発しております。 今後もひきつづき真空技術のより高度化にお応えできますよう 努力してまいります。