ビューポートシャッター SFシリーズ
ビューポートシャッター SFシリーズ
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり ○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能 ○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能 ○特殊サイズフランジの製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
