ビューポートシャッター SFシリーズ
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり ○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能 ○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能 ○特殊サイズフランジの製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果あり ○オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能 ○簡単な組み替えで開閉方向を変更可能 ○特殊サイズフランジの製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。
