シュータ×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧

ウェーハシュータ（SWU-01型）

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置