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半導体・液晶・クリーン環境用に最適！完璧なシール効果の磁性流体防塵シール
『Exclusion Seal』の基本原理は、磁気回路を形成するためのユニットとして、 永久磁石、N極とS極、2つの磁極のためのボールピースからなっており、 この磁気回路ユニットに磁性シャフトを通すことによって、 磁束がシャフトとボールピースのラジアルギャップに集中し、 そのギャップ部に磁性流体を充填すると液状のOリングシールが形成されます。 この技術を応用して現在ではOA、FA機器はもちろん、クリーンルームに おける各種ロボット搬送システムなどに採用。完璧なシール効果により 超クリーン環境を実現しました。 【磁性流体とは】 ■磁性流体は10ナノメートル程度の磁性超微粒子を 液体中に分散させたコロイド状の液体 ■外部からの磁場の作用があっても粒子とベース液との 分離や凝集が起こらない ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い用途に応じて機種を設定！あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、 スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、 幅広い用途に応じて機種が設定してあります。 シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、 キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとして、 フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。 【特長】 ■高温・高荷重、高速回転使用に対応できる水冷タイプあり （ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除く） ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール
『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■同軸3軸構造でありながら、高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。コンタミ無し
【商品説明】 磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。 接触式のものより、長寿命であり、コンタミネーションを発生させない 特徴を持っております。 ◆掲載内容◆ 〜あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールを数多く掲載〜 ・ミニチュアフェローシール ・スノーホールフェローシール ・フランジ付フェローシール ・ヘビーデューティーフェローシール ・多機能フェローシール ・ロボットシール ほか ◆カタログ希望の方が資料請求からお問合わせ下さい◆ 〜ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただけます〜
カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 【特長】 ■回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとは Oリングによって静的にシールされる ■クランプによってシャフトとスリーブは固定される ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
