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気づき、改善し、そして幸せを追求する企業。フェローテック。
当社では、「装置関連事業」「太陽電池関連事業」「電子デバイス事業」という製品用途と市場分野に応じた3つの事業セグメントで積極的な事業活動を展開しています。 新エネルギー産業およびエレクトロニクス産業では、高品質な製品やサービスを提案し、コスト競争力のある製品やサービスを提供。 また、地球環境に配慮した活動を積極的に推進することを経営上の重要課題の一つとしており、最新の環境規制要求への適応を順次進め、新エネルギー産業で活用できる素材・製品などを開発し、地球環境問題の解決に貢献しています。 【事業紹介】 ○装置関連事業 ○電子デバイス事業 ○太陽電池関連事業 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
半導体・液晶・クリーン環境用に最適！完璧なシール効果の磁性流体防塵シール
『Exclusion Seal』の基本原理は、磁気回路を形成するためのユニットとして、 永久磁石、N極とS極、2つの磁極のためのボールピースからなっており、 この磁気回路ユニットに磁性シャフトを通すことによって、 磁束がシャフトとボールピースのラジアルギャップに集中し、 そのギャップ部に磁性流体を充填すると液状のOリングシールが形成されます。 この技術を応用して現在ではOA、FA機器はもちろん、クリーンルームに おける各種ロボット搬送システムなどに採用。完璧なシール効果により 超クリーン環境を実現しました。 【磁性流体とは】 ■磁性流体は10ナノメートル程度の磁性超微粒子を 液体中に分散させたコロイド状の液体 ■外部からの磁場の作用があっても粒子とベース液との 分離や凝集が起こらない ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い用途に応じて機種を設定！あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、 スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、 幅広い用途に応じて機種が設定してあります。 シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、 キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとして、 フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。 【特長】 ■高温・高荷重、高速回転使用に対応できる水冷タイプあり （ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除く） ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール
『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■同軸3軸構造でありながら、高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。
技術資料『Oリング及び付属品テーブル』は、 あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。 フェローシールのモデルナンバーに対応する、付属品の情報を 一覧で掲載しています。 【掲載付属品】 ■ハウジング・フランジ端面 ■溝内径 ■溝巾 ■溝深 ■ナット対面巾 ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。コンタミ無し
【商品説明】 磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。 接触式のものより、長寿命であり、コンタミネーションを発生させない 特徴を持っております。 ◆掲載内容◆ 〜あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールを数多く掲載〜 ・ミニチュアフェローシール ・スノーホールフェローシール ・フランジ付フェローシール ・ヘビーデューティーフェローシール ・多機能フェローシール ・ロボットシール ほか ◆カタログ希望の方が資料請求からお問合わせ下さい◆ 〜ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただけます〜
カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 【特長】 ■回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとは Oリングによって静的にシールされる ■クランプによってシャフトとスリーブは固定される ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」の技術資料です。
『許容荷重及び寿命計算用データ』は、あらゆる真空加工装置に対応する 「フェローシール」の技術資料です。 フェローシールの軸受け定格疲れ寿命を計算するための計算式やデータを 掲載しています。 【掲載データ】 ■ベアリング負荷容量 ■ベアリング間距離 ■ベアリング位置からハウジング端面までの距離 ■荷重位置 など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
