カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール
株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 【特長】 ■回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとは Oリングによって静的にシールされる ■クランプによってシャフトとスリーブは固定される ■ハーメティックシーリングが可能 ■測定不能な漏れを防止 ■ロングライフ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ・主な仕様】 [スルーホールタイプ] ■シャフト径：010、020、025、030、040、050、075 ■ベアリング材質：SUJ2 ■ハウジング材質：SUS303 ■シャフト材質：SUS630 [フランジ付（ベアリング両持ち）タイプ] ■シャフト径：010、020、025、030、040、050、075 ■ベアリング材質：SUJ2 ■ハウジング材質：SUS303 ■シャフト材質：SUS630 [フランジ付（ベアリング片持ち）タイプ] ■シャフト径：020、025、030、040、050 ■ベアリング材質：SUJ2 ■ハウジング材質：SUS304（SUS316はオプション） ■シャフト材質：SUS630 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【利用例】 ■スパッタリング、イオン・インプランテーション等 ■エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、 ロータリーターゲット ■X線、光学機器類 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
株式会社フェローテックホールディングスは、「装置関連事業」「太陽電池関連事業」「電子デバイス事業」という製品用途と市場分野に応じた３つの事業セグメントで積極的な事業活動を展開しています。新エネルギー産業およびエレクトロニクス産業では、高品質な製品やサービスを提案し、コスト競争力のある製品やサービスを提供しております。また、地球環境に配慮した活動を積極的に推進することを経営上の重要課題の一つとしており、最新の環境規制要求への適応を順次進め、新エネルギー産業で活用できる素材・製品などを開発し、地球環境問題の解決に貢献しています。株式会社フェローテックホールディングスは、コア技術を活用したものづくりを通して社会に貢献し、顧客、株主、社員、取引先、地域社会などステークホールダーの方々が成長する楽しみを持てる企業であり続けます。