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半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニットの組合わせを採用
当社では『超高精度LMガイドステージ』を取り扱っております。 超低ウェービング特殊LMガイド、高性能リニアモータ、アクティブ除振ユニット の組合わせを採用。 これまでの転がり案内方式では実現できなかった運動再現性、速度安定性、 停止安定性を大幅に向上しました。 【特長】 ■運動再現性を大幅に向上 ■速度安定性を大幅に向上 ■停止安定性を大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ステージ構造・ご要望に合わせた最適な型式の選定、及び専用設計での対応も可能
当社では『1軸エアスライダーステージ』を取り扱っております。 低速安定性に優れたシャフト型リニアモータと、剛性・荷重・空気流量の 確実な制御が可能なエアベアリングを採用。 安定性の高い動作・位置決めを実現しています。 ステージ構造・ご要望に合わせた型式の選定、及び専用設計での対応も可能です。 【特長】 ■低速安定性に優れたシャフト型リニアモータ ■剛性・荷重・空気流量の確実な制御が可能なエアベアリングを採用 ■安定性の高い動作・位置決めを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
