半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様(一部抜粋)】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ・外形寸法：1250×1000×270mm ・分解能：0.4nm ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ・外形寸法：3640×4140×2040mm ・分解能：0.02μm ■直交型リニアガイドステージ ・外形寸法：3500×3160×1200mm ・分解能：0.015μm ■ガントリ固定型エアスライダステージ ・外形寸法：3500×5000×2600mm ・分解能：0.015μm など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な高精度XYステージの専業メーカーです。 現在では半導体・プリント基板、スマートフォン、産業用ロボットなどの 新たな業界への開発にも取り組んでいます。 また当社の高精度XYステージは、モーションコントロール技術・ エアスライダ技術・素材活用技術などを基盤技術として、 超精密且つ正確さを実現しています。