超精密ステージ
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
- 企業：株式会社ピーエムティー 本社・工場
- 価格：応相談
ステージ(精密) - メーカー・企業と製品の一覧
ステージの製品一覧
1～3 件を表示 ／ 全 3 件
表示件数
小型ナノステージ『nano-UP Series』
レーザー光軸やレンズの調心に最適！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です！XYZΘの組合せも自在！
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
- 企業：株式会社ピーエムティー 本社・工場
- 価格：応相談
小型ナノステージ『nano-UP Series』
手のひらサイズのナノステージ。 この小ささ、この薄さでナノメートルオーダーの位置決めが可能です。
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
- 企業：株式会社ピーエムティー 本社・工場
- 価格：応相談
