手のひらサイズのナノステージ。 この小ささ、この薄さでナノメートルオーダーの位置決めが可能です。
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
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基本情報
■組み合わせ事例 ・X-Yステージ 1軸ステージを2台重ねれば、超小型X-Yステージとなり、 2 方向の動作が可能です。 1台約 25mm の薄さなので、複数台重ねて使用することができます。 ・θ- 傾斜（X-Y）ステージ θ× 傾斜ステージの組み合わせ。光軸調整など、 精密な角度制御が必要とされる用途に最適です。
価格帯
納期
用途／実績例
手のひらに収まる小ささと薄さで、レーザ光軸の調整や レンズの調芯など微細な位置決めが必要となる用途に最適 なステージです。
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企業情報
1991 年9月、株式会社ピーエムティーは半導体製造装置の総合商社として創業しました。 その後、部品加工、金型の設計･製作を経て超精密軸制御技術を確立。 これを自社の強みとし、ナノステージシステムをはじめNC 微細加工機やマスクレス露光装置など様々な機械･装置に応用展開してきました。 現在ではライフサイエンス分野に特化した自動化システムや、製造現場の課題を解決するロボティクス事業にも着手し、業界分野の垣根を超えたモノづくりを続けています。 合言葉は、「ピーエムティーと、何創ろう」。 まずはお客様のご要望をお聞かせください。
