パーシャルストッカー
パーシャルストッカー
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化(各室±10%以内のバラツキ) ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる
- 企業:株式会社ダン・タクマ
- 価格:応相談
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パーシャルストッカー
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化(各室±10%以内のバラツキ) ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる