パーシャルストッカー
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ） ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる
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基本情報
〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ） ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる
価格情報
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納期
用途／実績例
◆用途◆ ・シリコンウエーハ、ガラス基板等の自然酸化膜抑制及び吸湿防止 ・精密部品の酸化防止
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企業情報
株式会社ダン・タクマは電子、精密加工業界に対して、クリーン環境の創造という分野で数々の新商品を供給して参りました。 最近では粒子状汚染物だけでなく分子上汚染物をも排除した超清浄空間の構築に貢献しております。また空気の浄化だけでなく温度、湿度の精密制御、磁場変動の低減等クリーンルームで要求される様々なご要求に対応しております。洗浄、乾燥に関してもウエーハ、石英管、治工具洗浄に豊富な技術を蓄積しております。今それらの技術は様々な業界で幅広く応用され新商品が上市されております。 私達は単なる装置の供給だけでなく、トータルエンジニアリング、優れたアフターサービス体制を確立しており、グリーン調達の理念も取入れつつ、計画からメンテナンスまで一貫してお客様のニーズにお応え出来る事を目標として日々努力を重ねております。
