高性能コーティング膜製造用スパッタ装置
戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサー向けのコーティング膜製造用装置
『高性能コーティング膜製造用スパッタ装置』は、次世代自動車に搭載 されている車載カメラやセンサーに用いられる反射防止膜を製膜する 装置で、戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサーに最適です。 従来のスパッタ法に最新技術を取り入れ、高性能光学薄膜を得られる スパッタ装置の開発を行っております。 【特長】 ■遷移領域制御による製膜レートと膜質の制御 ■HIPIMS電源を使用したプラズマ高密度化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社広島
- 価格：応相談
