公転式スピンドライヤー
安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー
●発塵要因を徹底的に排除 ●安全でクリーンな短時間乾燥を実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。
- 企業：大宮工業株式会社 営業本部営業課
- 価格：応相談
ドライヤ×大宮工業株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
1～2 件を表示 ／ 全 2 件
表示件数
自転式スピンドライヤー
自転式スピンドライヤー
■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。 ■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。 ■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式で実績のある大宮工業独自の構造を採用。いつもクリーンな状態を維持します。 ■オプションで自動バランス調整装置も取付可。枚数差やキャリアの重量差によって発生する振動をキャンセルします。
- 企業：大宮工業株式会社 営業本部営業課
- 価格：応相談
