安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー
●発塵要因を徹底的に排除 ●安全でクリーンな短時間乾燥を実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。
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基本情報
回転による遠心力と吸引される気流の作用により、ウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。 自動バランス修正装置の追加によりウエハセット枚数に関わらず安定した回転を実現。
価格情報
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納期
用途／実績例
■ウエハ乾燥用途 ■ウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能
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企業情報
大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。