自転式スピンドライヤー
■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。 ■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。 ■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式で実績のある大宮工業独自の構造を採用。いつもクリーンな状態を維持します。 ■オプションで自動バランス調整装置も取付可。枚数差やキャリアの重量差によって発生する振動をキャンセルします。
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基本情報
試作・少ロット生産ラインなどに最適な自転式スピンドライヤー、OKVシリーズです。 従来のN2置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力＋吸収エアー乾燥方式を採用しました。
価格情報
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納期
用途／実績例
■ウエハ乾燥用途 ■ウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能
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企業情報
大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。
